公开(公告)号：CN101900877B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201010188264.6

申请日：2010-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望 ,  船坂司

IPC: G02B26/00 ,  G01N21/31

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/51

Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。

公开(公告)号：CN102636828A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210028988.3

申请日：2012-02-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 荒川克治 ,  广久保望 ,  小松洋

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26

CPC classification number: G02B26/001 ,  B81B7/0035 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。

公开(公告)号：CN102540312A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110433595.6

申请日：2011-12-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明涉及一种波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备。该波长可变干涉滤波器具备静电执行机构，该静电执行机构具备固定电极及可动电极。并且，固定电极具备多个固定部分电极，可动电极具备多个可动部分电极，由彼此相对的固定部分电极及可动部分电极构成部分执行机构。此外，这些部分执行机构具有相同的面积，重心点在以可动部的中心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，这些部分执行机构在电压施加用部分电极间电串联连接。