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公开(公告)号：CN101771395B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN200910258827.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H01L41/1132 , G01C19/5607 , H03H9/215
Abstract: 弯曲振动片以及电子部件。针对在多个振动臂间从连接部延伸出1个中央支撑臂的弯曲振动模式的弯曲振动片，改善因振动臂的弯曲振动而在连接部产生的热弹性损失所导致的Q值下降。压电振动片(21)沿振动臂(23、24)的宽度方向具有有底槽(30、31)，其位于连接部(22)的连接振动臂的部分与连接中央支撑臂25的部分间的区域(28、29)。利用该槽，因振动臂的弯曲振动形成的、区域(28、29)的振动臂侧部分(32、33)与相反侧部分(34、35)间的热传递路径显著变长，这些部分间的缓和时间变长，Q值为极小值的缓和振动频率低于以往，改善了Q值。为贯通槽时，区域(28、29)的振动臂侧及相反侧部分(37、38)内部的热传递路径变短，各部分的缓和时间变短，缓和振动频率大于以往，改善了Q值。
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公开(公告)号：CN102340291A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110191711.8
申请日：2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02102 , H03H9/0519 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供弯曲振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高Q值。石英振动片(1)具有基部(11)和从基部延伸出来的一对振动臂(12、13)，振动臂在相对的两个主面(10a、10b)上具有沿着振动臂的长度方向形成的槽部(18)，在振动臂的与基部连接的连接部处设有如下构成的倾斜部(19)：在平面视图中，随着从振动臂接近基部，从槽部到外形的间隔变宽，槽部在位于倾斜部处的底部(18c)的至少一部分中，在从与沿着槽部的长度方向的第1侧面(18a)连接的连接部(18d)到与隔着底部(18c)与第1侧面(18a)相对的第2侧面(18b)连接的连接部(18e)的范围内，具有未形成激励电极(20、21)的无电极区域。
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公开(公告)号：CN102142827A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201110031419.X
申请日：2011-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种能够防止面外弯曲振动的振动体的振动泄漏并提高Q值的振动体、振动装置以及电子设备。振动体(2)具有：基部(27)；多个振动臂(28、29、30)，其从该基部的一侧端部起延伸，并在第1方向上并排设置，且朝向与第1方向正交的第2方向延伸；连接部(26)，其被设置在相邻的两个振动臂的各自的基端部与基端部之间，并从基部的另一侧的端部起延伸；支承部(25)，其经由该连接部而与基部相连接。
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公开(公告)号：CN118590027A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410218913.4
申请日：2024-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度(T)满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥(t1+t2)/T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥Wb/T≥0.0326，振动臂的长度(L1)满足L1≥1000μm。
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公开(公告)号：CN109067379B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201810861640.X
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含：基部(4)；以及1对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体设置，在X轴方向上排列，从基部(4)朝Y轴方向延伸，振动臂(5、6)分别包含：臂部(51、61)；以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69)，在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时，满足1.2％＜H/L＜30.0％的关系，在设臂部的X轴方向的长度为W1、锤头的X轴方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109067379A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810861640.X
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含：基部(4)；以及1对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体设置，在X轴方向上排列，从基部(4)朝Y轴方向延伸，振动臂(5、6)分别包含：臂部(51、61)；以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69)，在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时，满足1.2％＜H/L＜30.0％的关系，在设臂部的X轴方向的长度为W1、锤头的X轴方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。
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公开(公告)号：CN104079263B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201410116475.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/125 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（2）具有石英基板（3），该石英基板（3）具有：基部（4）；从基部（4）起延伸的一对振动臂（5、6）；以及支承臂（71），其在振动臂（5、6）之间，在与振动臂（5、6）相同的一侧从基部（4）起延伸。并且，振动臂（5）具有臂部（51）和设置在臂部（51）前端的锤头（59）。臂部（51）具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
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公开(公告)号：CN103401526B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201310337047.2
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，本发明的振动片是通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有沿着第1方向延伸的缺口；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述基部突出，在平面视中，上述缺口与通过上述振动臂的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想直线交叉，且具有多个被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN104660210A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410655231.6
申请日：2014-11-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215
Abstract: 振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供能够提高设置时的稳定性的振动片，此外，提供具有该振动片且具有优异的可靠性的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动片(200)具有：基部(220)；1对振动臂(230、240)，它们从基部(220)延伸；以及保持臂(250)，其从基部(220)起在1对振动臂(230、240)之间延伸，振动臂(230、240)具有：从基部(220)延伸的臂部(237、247)；以及设置在臂部(237、247)的末端部的锤头(260、270)，在设各振动臂(230、240)的质量为M1、保持臂(250)的质量为M2时，满足M1＞M2的关系。
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