公开(公告)号：CN1414827A

公开(公告)日：2003-04-30

申请号：CN02147137.1

申请日：2002-10-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 梅津一成 ,  尼子淳 ,  本田贤一

IPC: H05K13/00 ,  B23K26/00 ,  G02F1/133 ,  H01L21/48

CPC classification number: B23K26/0673 ,  B23K26/067 ,  B23K2101/38 ,  G02F1/136204 ,  H05K3/027 ,  H05K3/225

Abstract: 导电布线切断装置10具备：发生激光的激光发生装置1；使由激光发生装置1发生的激光分支成多条光束的光束分支元件3；以及对于由光束分支元件3分支了的各分支光束进行聚焦的聚焦元件(可兼作光束分支元件3)。再有，作为聚焦元件也可以具备与光束分支元件3分体的聚焦透镜。此外，也可以作成可以调整分支光束的功率及焦点深度的结构。在基板对于激光具有透过性的情况下，也可以从与导电布线形成面相反面照射分支光束。