公开(公告)号：CN218666399U

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202222858565.6

申请日：2022-10-28

申请人： 山东大学

发明人： 王国栋 ,  曹文豪 ,  张雷 ,  俞瑞仙 ,  王守志 ,  徐现刚

IPC分类号： C30B23/00

摘要： 本实用新型涉及晶体生长设备领域，公开了一种PVT感应炉膛下测温孔防堵塞装置。包括设置在感应炉膛下测温孔上方的用于阻挡下测温孔的隔窗，在下测温孔顶部靠近隔窗位置设置用于密封的玻璃层，另外，在感应炉膛内设置驱动隔窗在水平方向上做往复运动的水平运动装置。在升温阶段，将隔窗移动到下测温孔处能够保证掉落的石墨不会污染下测温孔，到达需要检测的温度时，再将隔窗移开下测温孔，使下方的红外测温仪能够检测到内部准确的温度信号。

公开(公告)号：CN220999948U

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202323028592.1

申请日：2023-11-09

申请人： 山东大学

发明人： 张雷 ,  曹文豪 ,  王守志 ,  王国栋 ,  俞娇仙 ,  徐现刚

IPC分类号： C30B23/00 ,  C30B29/40

摘要： 本实用新型提供了一种PVT生长AlN单晶的籽晶固定装置，包括同心设置的籽晶托、上环板和下环板；所述籽晶托下表面粘接籽晶；所述上环板和下环板分别夹持在所述籽晶托边部上下两侧，所述下环板的上表面与所述上环板的下表面相贴合；所述上环板和下环板的内周分别设置有多个与籽晶边部相适配的环形凹台。所述籽晶固定装置呈同心圆状，易加工；不仅能够有效地防止籽晶掉落，同时固定籽晶位置，保证籽晶位置不偏移或波动，还能抑制钨件在升温过程中导致的热变形，从而有效卸去籽晶托在升温过程中产生的热应力，防止籽晶的开裂。

公开(公告)号：CN218812213U

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202223489861.X

申请日：2022-12-27

申请人： 山东大学

发明人： 张雷 ,  王本发 ,  王守志 ,  王国栋 ,  俞娇仙

IPC分类号： C30B9/12 ,  C30B29/40

摘要： 本实用新型提出了一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的熔体搅拌装置，包括用于调节高度的调节支架、搅拌桨叶、反应容器和驱动设备，搅拌桨叶通过驱动杆与调节支架连接，驱动设备驱动端连接驱动杆，驱动设备通过驱动杆带动搅拌桨叶转动，反应容器内盛有熔体，调节支架带动搅拌桨叶进出熔体。本实用新型结构简单实用，并且可以根据氮化物单晶不同的生长条件，灵活改变搅拌桨叶在熔体中的位置，并以一定的速度和时间搅动熔体，既实现了熔体流动带动溶质的定向传输，解决了现有生长体系中的溶质传输困难、易产生多晶等技术问题，又可进一步保证籽晶外延界面区域的溶质过饱和度始终在合适的区间内，从而提高外延氮化物单晶的质量与尺寸。