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公开(公告)号：CN212375375U
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN202021644793.8
申请日：2020-08-10
Applicant: 北京大学 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型提供了一种真空腔进样系统，用于解决现有技术中真空腔进样系统容易破坏其他腔室的真空环境、无法实现大气进样的技术问题；包括：中转腔和真空存样腔；所述真空存样腔包括第一法兰、样品固持装置和第一传样装置；所述第一法兰设置第一阀门；所述中转腔包括第二法兰、第三法兰、真空泵、传样台和第二传样装置；实施本实用新型的技术方案，中转腔连接真空腔体，设置真空存样腔，并通过闸阀隔离中转腔、真空存样腔和外部腔体，可在不破坏外部腔体真空环境的前提下完成进样；设置常压进样门，可实现常压进样；真空存样腔通过CF法兰连接中转腔，可拆卸，并设置手提支架，可实现样品的转移和快速切换。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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