公开(公告)号：CN207779344U

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201820017141.8

申请日：2018-01-05

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 孟彦龙 ,  檀珺 ,  金尚忠 ,  金国君 ,  王玲莉

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/02

Abstract: 本实用新型提出了一种用于提高超薄金属薄膜测量灵敏度的部件结构。该部件由高折射率材料构成的三棱镜，以及沉积在三棱镜表面的低折射率介质薄膜组成。测试时可将该部件中镀有介质薄膜面与超薄金属薄膜接触，三棱镜另外两个面为光入射的端面和出射端面，当三棱镜顶角与椭圆偏振光入射角满足一定条件时，三棱镜内的入射光会在镀有介质薄膜的端面上发生全反射，从而在一定厚度的介质薄膜内形成倏逝波，当波矢满足表面等离子体激发条件时，倏逝波能够激发金属表面的等离子体，提高椭圆偏振光反射光对相位变化的灵敏度，最终提高测试超薄金属厚度时的测试灵敏度。该部件结构简单且便于应用到传统椭偏仪测试系统中，避免了传统Otto结构测试需要不断移动三棱镜来寻找合适空隙层的不足，十分有利于快速测量超薄金属薄膜以及金属薄膜在原子层级的厚度变化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利