-
公开(公告)号：CN111156906A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010024742.3
申请日：2020-01-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于微位移传感器技术领域，具体涉及一种基于四象限光栅及探测器的二维微位移传感器，包括第一激光器、第二激光器、第一准直透镜、第二准直透镜、可动光栅、四象限光栅、四象限探测器，所述第一激光器、第二激光器分别设置在第一准直透镜、第二准直透镜的正上方，所述第一准直透镜、第二准直透镜的下方设置有可动光栅，所述可动光栅的下方设置有X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅，所述X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅的下方分别设置有第一四象限探测器、第二四象限探测器。本发明通过四象限光栅及探测器产生四路信号进行差分，有利于后续高倍细分，且可消除背景噪声及直流分量，提高微位移检测的分辨率和精度。本发明用于微位移的测量。
-
公开(公告)号：CN111121839A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010028617.X
申请日：2020-01-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，包括光源、微纳光纤、测量室、参考室、光电探测器，所述光源通过微纳光纤依次连接有测量室、参考室、光电探测器，所述微纳光纤上分别设置有测量腔和参考腔，所述测量腔设置在测量室的内部，所述参考腔设置在参考室的内部，所述光源发出的宽谱信号光耦合入微纳光纤，并经过测量腔和参考腔，最终由光电探测器接收并探测。本发明基于单根微纳光纤，结构简单，本发明直接在微纳光纤上制备谐振腔，避免光纤熔接、套装等复杂工艺；本发明利用双腔选频效应，便于集成，且避免了外接光谱仪等大型设备。本发明用于温度、湿度等多种物理变量的检测。
-
公开(公告)号：CN110966999A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911281791.9
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方的检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺中X轴陀螺和Y轴陀螺采用离面检测，Z轴陀螺采用面内检测，此陀螺结构设计合理、简单，体积小，集成度高，可靠性好、适合微型化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN211904157U
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201922235447.8
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由活动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构，利用其逆压电效应驱动，正压电效应检测，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN212585721U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201922235843.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方的检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺中X轴陀螺和Y轴陀螺采用离面检测，Z轴陀螺采用面内检测，此陀螺结构设计合理、简单，体积小，集成度高，可靠性好、适合微型化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN212585720U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201922234997.8
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5733 , H02K35/04 , B81B7/02
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN211904158U
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201922245474.3
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件；隧道磁阻器件通过敏感到回折形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的通过结合相反性能隧道磁阻元件、多路差分电压输出实现对微弱磁场变化高灵敏检测，整体结构设计合理、简单，能够有效的避免外磁干扰，且可以减小由于集成造成的误差。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN213581020U
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201922236434.2
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/105
Abstract: 本实用新型属微惯性导航的技术领域，具体涉及一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置。一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，所述敏感质量块、及位于敏感质量块两侧的检测组合梁共同构成矩形体检测结构，所述矩形体检测结构位于三轴加速度计装置整体结构检测方向的轴线方向上，实现高精度的加速度检测。此装置结构对微弱磁场变化具有高灵敏特性，设计合理、简单，易单片集成，适合微型化。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
58
records
(took 0.023 seconds)
