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公开(公告)号:CN1439117A
公开(公告)日:2003-08-27
申请号:CN01811836.4
申请日:2001-06-22
Applicant: 爱克发-格法特公司
CPC classification number: G03F7/0166 , G03F7/0163 , G03F7/093 , H05K3/105
Abstract: 制造导电图案用的材料,该材料包含支持体和可差示曝光的元件,其特征在于该可差示曝光元件包含最外层,其含有聚阴离子以及取代或未取代噻吩的聚合物或共聚物,以及与最外层相邻的任选第二层;并且其中最外层和/或任选第二层含有光敏部件,其能够在曝光过程中相对于最外层未曝光部分而改变最外层已曝光部分的去除性;以及采用制造导电图案用的材料在支持体上制造导电图案的方法。