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公开(公告)号:CN104052426B
公开(公告)日:2018-08-10
申请号:CN201410087903.8
申请日:2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含:基部(4);以及1对振动臂(5、6),它们与基部(4)一体设置,在X轴方向上排列,从基部(4)朝Y轴方向延伸,振动臂(5、6)分别包含:臂部(51、61);以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69),在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时,满足1.2%<H/L<30.0%的关系,在设臂部(51、61)的X轴方向的长度为W1、锤头(59、69)的X轴方向的长度为W2时,满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。
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公开(公告)号:CN104753494A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201410806740.4
申请日:2014-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , H03B5/32 , H03H9/02102 , H03H9/02551 , H03H9/0509 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492 , H03H2009/02165
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器及移动体,能够高效且高精度地进行频率调整。振动元件(2)包含:基部(31);以及从基部(31)起延伸并设有施重部(5)的振动臂(32),施重部(5)包含:配置于振动臂(32)的末端部的一个主面上的第1施重部(51);以及比第1施重部(51)靠基端侧、且厚度比第1施重部(51)薄的第2施重部(52)。振动臂(32)能够透过能量线,在振动臂的相反侧的主面上的、与第2施重部(52)重叠的位置处,配置有允许能量线入射到振动臂(32)内的激光入射区域(SLL)。
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公开(公告)号:CN104753489A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201410804388.0
申请日:2014-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/106 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H2003/026
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体,振动片能够实现振动臂的延伸方向上的小型化、并且减少热弹性损失,振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体具有该振动片。振动片(2)在设基部(4)的第1端面(41a)与第2端面(42a)的最短距离为Wb[m]、基部(4)沿着Y轴方向的有效宽度为We[m]、振动片(2)的Q值为Q时,满足下述式(A)和(B)。Q={(ρ·Cp)/(c·α2·Θ)}×[{1+(2·ρ·Cp·We2·f/π·k)2}/(2·ρ·Cp·We2·f/π·k)]····(A)0.81≦Wb/We≦1.70···(B)。
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公开(公告)号:CN104660206A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201410646254.0
申请日:2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03B5/32 , H03H9/02023 , H03H9/02157 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,振动元件实现了超小型,振子、振荡器、电子设备以及移动体具有该振动元件。振动元件(2)具有石英振动片(3),该石英振动片(3)具有:基部(4);以及一对振动臂(5、6),它们与基部(4)一体地设置,在X轴方向上并排且从基部(4)起沿Y’轴方向延伸,振动臂(5、6)包含:臂部(51、61);以及锤头(59、69),其位于该臂部(51、61)的末端侧,且沿着X轴方向的长度比臂部(51、61)长,在设振动臂(5、6)的厚度为T,锤头(59、69)彼此的沿着X轴方向的相隔距离为W4时,满足0.033T<W4<0.330T[μm]的关系。
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公开(公告)号:CN104300934A
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201410338689.9
申请日:2014-07-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
CPC classification number: H03B5/30 , G04F5/063 , H01L41/04 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215
Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够提高耐冲击性和Q值。在振动片(2)中,基部(4)包含第1基部(41)、第2基部(42)和连结部(43),基部(4)包含设置于(43)的第1基部(41)侧的端部、且沿着X轴方向的宽度随着朝向第2基部(42)而连续减小的宽度缩小部(411),俯视时宽度缩小部(411)的外缘和连结部(43)的外缘为不包含角部的连续的线,在设该曲线的第1基部(41)侧的部分的切线与平行于X轴方向的线段所成的角为θ时,满足0°<θ<90°的关系。
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公开(公告)号:CN102142827B
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201110031419.X
申请日:2011-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
IPC: H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种能够防止面外弯曲振动的振动体的振动泄漏并提高Q值的振动体、振动装置以及电子设备。振动体(2)具有:基部(27);多个振动臂(28、29、30),其从该基部的一侧端部起延伸,并在第1方向上并排设置,且朝向与第1方向正交的第2方向延伸;连接部(26),其被设置在相邻的两个振动臂的各自的基端部与基端部之间,并从基部的另一侧的端部起延伸;支承部(25),其经由该连接部而与基部相连接。
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公开(公告)号:CN104242867A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410283130.0
申请日:2014-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0552 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供振动元件及其制造方法、振动器件、电子设备、移动体,能够抑制由于从外部施加的冲击等引起的损坏。振动元件(1)的特征在于,具有:基部(12);振动臂(21、22),其具有彼此处于正反关系的第1主面(17)和第2主面(18),且从基部(12)起延伸;以及侧面,其在振动臂(21、22)的末端处与第1主面(17)以及第2主面(18)连接,侧面是相对于第1主面(17)或第2主面(18)的垂线具有倾斜度、从第1主面(17)一直设置到第2主面(18)的倾斜面(15),且为晶面。
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公开(公告)号:CN104079257A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410112720.7
申请日:2014-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
CPC classification number: H03H9/0547 , G04F5/063 , H03B5/32 , H03H9/1021 , H03H9/215 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,通过抑制振动元件的基本弯曲振动模式中的等效串联电阻的值增大,并且将n次谐波弯曲振动模式中的等效串联电阻的值设为相比基本弯曲振动模式中的等效串联电阻的值足够大,发挥优异的振动特性。振子(1)包含:振动元件(2),其包含基部(4)和一对振动臂(5、6),该一对振动臂(5、6)与基部(4)一体设置,从基部4起朝第1方向延伸,并在与所述第1方向垂直的第2方向上排列;支承振动元件(2)的底座(91);以及将振动元件(2)固定到底座(91)的粘着部,振动元件(2)构成为满足下述式(1)示出的条件。
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公开(公告)号:CN104052426A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201410087903.8
申请日:2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山田明法
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含:基部(4);以及1对振动臂(5、6),它们与基部(4)一体设置,在X轴方向上排列,从基部(4)朝Y轴方向延伸,振动臂(5、6)分别包含:臂部(51、61);以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69),在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时,满足1.2%<H/L<30.0%的关系,在设臂部(51、61)的X轴方向的长度为W1、锤头(59、69)的X轴方向的长度为W2时,满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。
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公开(公告)号:CN102025341B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201010277937.5
申请日:2010-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种可在确保耐冲击性的同时抑制Q值下降的振动片、振子、振荡器及电子设备。压电振动片具有所谓音叉型的外形,具有基部、和从基部的一端侧分成两股并列地延伸的一对振动臂。各振动臂具有:窄幅部,其是振动臂的两个侧面之间的宽度较窄的部分;宽幅部,在与基部连接的根部部分,从窄幅部朝向基部侧,两个侧面之间的宽度逐渐变宽,并在与基部的连接根部成为最大宽度。在各振动臂的两个主面沿着长度方向设有有底的长槽。各长槽形成为宽幅部的堤岸部(25)的宽度(t2)与堤岸部(25’)的宽度(t2’)之和,比窄幅部的堤岸部(25)的宽度(t1)与堤岸部(25’)的宽度(t1’)之和小。
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