公开(公告)号：CN104753492A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410830314.4

申请日：2014-12-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  山崎隆 ,  吉田周平 ,  城仓寿成

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/19 ,  H03H9/21

CPC classification number: G01L1/106 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/215 ,  H03H2003/026

Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备、传感器和移动体，能够高精度地进行振动臂的共振频率的微调。振动片(2)具有：基部；振动臂(5)，其包含臂部(50)以及宽度增大部(59)，其中，臂部(50)从基部延伸，宽度增大部(59)与臂部(50)的末端部连接且宽度大于臂部(50)；第1驱动用电极(84)，其被设置在振动臂(5)；以及施重层(57)，其被设置在宽度增大部(59)，厚度大于第1驱动用电极(84)，施重层(57)包含第1施重部(571)和具有固定宽度的部分的第2施重部(572)，其相对于第1施重部(571)配置在基部侧，所述固定宽度的部分的宽度小于第1施重部(571)。

公开(公告)号：CN102035499B

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201010502124.1

申请日：2010-09-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  山崎隆

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。

公开(公告)号：CN101877575B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201010170631.X

申请日：2010-04-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  古畑诚

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/19

Abstract: 一种弯曲振动片，能够消除弯曲振动片的振动泄漏，提高Q值，改善CI值，促进小型化以及薄型化。在弯曲振动片中，从基部延伸的振动臂具有在彼此相对的第1以及第2主面上沿着振动臂的长度方向形成的第1以及第2槽部。第1槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于振动臂长度方向的中心线交替错开地配置在中心线两侧的多个第1槽部分构成，第2槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于中心线交替错开地配置在中心线两侧且相对于中心线配置在各第1槽部分的相反侧的多个第2槽部分构成。当对第1以及第2槽部的第1激励电极和振动臂两侧面的第2激励电极施加交流电压时，振动臂在第1或第2主面的面内方向上弯曲振动。

公开(公告)号：CN102629861A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210022419.8

申请日：2012-02-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 舟川刚夫 ,  山崎隆

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备。课题在于抑制振动片的Q值降低。作为解决手段，石英振动片(1)的特征在于，具有：基部(10)；振动臂(11a、11b、11c)；以及设置在振动臂(11a、11b、11c)上的激励电极(12a、12b、12c)，激励电极(12a、12b、12c)具有：设置在振动臂(11a、11b、11c)的主面(10a)侧的第1电极(12a1、12b1、12c1)；与第1电极(12a1、12b1、12c1)相对设置的第2电极(12a2、12b2、12c2)；以及在第1电极(12a1、12b1、12c1)和第2电极(12a2、12b2、12c2)之间延伸的压电体(13)，第1电极(12a1、12b1、12c1)和第2电极(12a2、12b2、12c2)的至少一方采用了ITO。

公开(公告)号：CN102195564A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110068370.5

申请日：2011-03-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆

IPC: H03B5/32

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/02125

Abstract: 本发明提供一种能够以简单且低成本的方式获得所需的振动特性的振动体、振动装置以及电子设备。振动体(2)具备：基部(27)；从该基部起延伸的振动臂(28、29、30)；被设置在该振动臂上的压电体元件(22、23、24)；被设置在该振动臂上的第1电极层(222、231、241)；被设置在该第1电极层上的压电体层(222、232、242)；被设置在该压电体层上的第2电极层(223、233、243)，其中，在这些层中的至少一个层上，形成有多个在其厚度方向上贯穿的细微的孔。

公开(公告)号：CN101847979A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010148347.2

申请日：2010-03-25

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  山崎隆 ,  浜山裕史

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133

Abstract: 本发明提供一种抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。该音叉型石英振动片(50)由基部(52)和从该基部(52)的一端侧分叉出两支并彼此平行地延伸的一对振动臂(53、54)构成。在各振动臂(53、54)形成有激励电极(36A、37A)，在基部(52)设置了分别与激励电极(36A、37A)相对应的外部连接电极(66、67)。另外，在振动臂(53)的与基部(52)相连的根部附近的基部(52)上设置有由热传导率高的材料形成的热传导路径(57)，该热传导路径(57)被连接于侧面电极(26A、26B)，该侧面电极(26A、26B)分别设置在与振动臂(53)的形成有激励电极(36A)的主面正交的两侧面。从而，图中箭头所示的振动臂(53)的弯曲振动方向的成为与基部(52)相连的根部的第1区域(110)和第2区域(111)通过热传导路径(57)被热连接。