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公开(公告)号:CN105453408B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201480044811.X
申请日:2014-07-30
Applicant: 国立大学法人静冈大学 , 欧姆龙株式会社 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 驱动器具备:具备固定电极及可动电极的静电驱动机构;由静电驱动机构驱动的第一可动部;弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部;形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体;以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上,在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压,能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。
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公开(公告)号:CN100406791C
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200510072771.2
申请日:2005-05-19
Applicant: 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 本发明的课题为,降低在节流阀装置内的节流部产生的振动本身,以期有效地降低噪音。其解决方案为,在阀体(20)于阀关闭状态下将第一进出口(12)和第二进出口(13)连通连接的通路中,沿着流过该通路的流体流串列地配置缓冲构件(26)和节流构件(28)。
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