公开(公告)号：CN107251402B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201680009509.X

申请日：2016-02-09

Applicant: 国立大学法人东京大学 ,  株式会社鹭宫制作所

Inventor： 藤田博之 ,  桥口原 ,  芦泽久幸 ,  三屋裕幸 ,  石桥和德

IPC: H02N1/00

Abstract: 驻极体元件具备Si层、在Si层的表面形成的SiO2层以及在SiO2层的与Si层的界面的近旁形成的驻极体。

公开(公告)号：CN105453408B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201480044811.X

申请日：2014-07-30

Applicant: 国立大学法人静冈大学 ,  欧姆龙株式会社 ,  株式会社鹭宫制作所

Inventor： 铃木雅人 ,  森昭登 ,  桥口原 ,  杉山达彦 ,  今本浩史 ,  大场正利 ,  三屋裕幸 ,  芦泽久幸 ,  石桥和德

IPC: H02N1/00

Abstract: 驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；由静电驱动机构驱动的第一可动部；弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上，在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压，能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。