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公开(公告)号:CN117621587A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311043562.X
申请日:2023-08-17
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供贴合适应性优异的层叠体及其制造方法。本发明的层叠体及其制造方法中,上述层叠体具有基材及导电层,上述导电层具有包含金属纳米体及树脂1的导电性区域和包含树脂2的非导电性区域,当将上述导电性区域的表面粗糙度设为Ra1、将上述非导电性区域的表面粗糙度设为Ra2时,Ra1>Ra2。
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公开(公告)号:CN117471851A
公开(公告)日:2024-01-30
申请号:CN202310943048.5
申请日:2023-07-28
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 有富隆志
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/09 , G03F7/095 , G03F7/20 , G03F7/26 , G06F3/041 , H05K3/00 , H05K3/06
Abstract: 本发明提供一种能够形成缺陷少的导电图案的包含导电图案的层叠体的制造方法。包含导电图案的层叠体的制造方法包括:准备带晶种层的基材的工序;在基材的一表面上形成第1感光性组合物层的工序;对其进行曝光并用第1显影液进行显影处理来形成第1抗蚀剂图案的工序;在基材的另一表面上形成第2感光性组合物层的工序;对其进行曝光并用第2显影液进行显影处理来形成第2抗蚀剂图案的工序;对位于未配置有第1及第2抗蚀剂图案的区域的晶种层进行镀覆处理来形成金属图案的工序;从层叠体去除抗蚀剂图案的工序;去除露出的晶种层并在基材的两面上分别形成导电图案的工序,第1及第2感光性组合物层在第2显影液中的溶解时间满足规定的必要条件。
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公开(公告)号:CN116745697A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202180091894.8
申请日:2021-12-28
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料、以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法,其中,上述感光性转印材料具有:临时支承体;及包含碱溶性树脂、烯属不饱和化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层,将上述感光性树脂层设为相对于以mJ/cm2为单位的曝光量Ep,以Ep+10%的曝光量曝光10μm/10μm的线与空间图案之后的双键反应区域宽度W+、及以Ep‑10%的曝光量曝光10μm/10μm的线与空间图案之后的双键反应区域宽度W‑时的双键反应区域宽度差(W+)‑(W‑)的值为1.45μm以下。
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公开(公告)号:CN116635790A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202180085868.4
申请日:2021-12-20
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料、以及层叠体的制造方法、使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法,所述感光性转印材料具有临时支承体及包含烯属不饱和化合物的感光性层,其中,利用超高压汞灯以波长365nm的能量密度100mJ/cm2对上述感光性层进行曝光的情况下,在上述临时支承体的剥离前后曝光的上述感光性层中的烯属不饱和键消失率之比为70%~100%。
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公开(公告)号:CN116149139A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211430635.6
申请日:2022-11-15
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种在波长365nm的光下不易感光、在波长436nm的光下容易感光且在黄色灯下的保存稳定性优异的感光性组合物。并且,提供一种在波长365nm的光下不易感光、在波长405nm的光下容易感光且在黄色灯下的保存稳定性优异的感光性组合物。并且,提供一种使用上述感光性组合物的转印膜、图案形成方法及电路配线的制造方法。一种感光性组合物,其包含碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂,其中,该感光性组合物满足规定的要件3及4。
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公开(公告)号:CN115398341A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202180026140.4
申请日:2021-03-10
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料及其应用,所述感光性转印材料具有临时支承体以及上述临时支承体上的感光性树脂层,在60℃下加热处理3小时前后,上述临时支承体的与上述感光性树脂层相对的面的相反一侧的面相对于不锈钢的动摩擦系数的变化率为0%~10%。
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公开(公告)号:CN114270262A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202080058305.1
申请日:2020-07-09
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够制造分辨率更优异的树脂图案的感光性转印部件。并且,本发明的课题在于提供一种电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。本发明的感光性转印部件具备临时支承体及感光性树脂层,感光性树脂层的层厚为8μm以下,感光性树脂层含有具有源自苯乙烯的结构单元的聚合物A和具有芳香环及两个烯属不饱和基团的聚合性化合物B1,相对于聚合物A的总质量的源自苯乙烯的结构单元的含量超过40质量%,感光性树脂层中,聚合性化合物B1的含量相对于具有聚合性基团的聚合性化合物B的含量的质量比为55质量%以上。
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