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公开(公告)号:CN119121163A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202411596459.2
申请日:2024-11-11
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院
Abstract: 本发明涉及一种中空磁控溅射阴极、磁控溅射镀膜装置及镀膜方法,所述中空磁控溅射阴极包括屏蔽外壳,以及位于所述屏蔽外壳内部设置的靶筒、磁铁单元和水冷单元;所述屏蔽外壳为中空的管式结构;所述靶筒为内部具有中空区域的环形结构,其位于靠近所述屏蔽外壳的中轴线的一侧;所述磁铁单元包括至少三个磁体组,阵列排布于所述靶筒远离所述中空区域的一侧与所述屏蔽外壳之间;所述水冷单元对所述磁铁单元进行嵌套。本发明提供的中空磁控溅射阴极通过在屏蔽外壳内部设置靶筒、磁铁单元和水冷单元以及对各部件结构及其位置关系的设计,实现了磁控溅射阴极对多维复杂结构部件表面的均匀镀膜,优化了阴极的镀膜质量以及提高了阴极的镀膜效率。
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公开(公告)号:CN119082689A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202411596460.5
申请日:2024-11-11
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院
Abstract: 本发明涉及一种磁控溅射镀膜装置及镀膜方法,所述磁控溅射镀膜装置包括反应腔室、磁控靶、离子源和样品台;所述反应腔室为真空密封结构;所述磁控靶固定且连通于所述反应腔室的底面;所述离子源包括呈对称设置的第一离子源和第二离子源,所述第一离子源和所述第二离子源分别固定且连通于所述反应腔室的两端侧面;所述离子源包括第一进气口、传输通道和出口,所述第一进气口用于从所述反应腔室外部通入反应气体进入所述离子源中;所述样品台位于所述反应腔室的顶端。本发明将对称的双离子源离化反应气体配合磁控靶的溅射,在基片衬底上反应镀膜,提高了气体的离化率,抑制了溅射时靶中毒现象,提高了镀膜速率,实现了低温下单晶或多晶薄膜的制备。
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公开(公告)号:CN117430912B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202311759433.0
申请日:2023-12-20
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院
Abstract: 本发明提供一种膨胀微球改性纤维增强酚醛气凝胶复合材料及其制备方法和应用,所述复合材料的制备原料包括:酚醛树脂、六次甲基四胺、乙醇、可陶瓷化的膨胀微球和纤维预制体。本发明的膨胀微球改性纤维增强酚醛气凝胶复合材料密度低,具有闭孔结构,显著提高了材料的隔热性能,具有良好的热稳定性和耐烧蚀性能,且加工性好,便于产业化和规模化投产。相较于传统纤维增强酚醛气凝胶耐烧蚀复合材料具有更低的密度、更优异的隔热性能与耐烧蚀性能,为高超声速飞行器的飞行稳定性提供更强的保障。
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公开(公告)号:CN117430911B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202311759431.1
申请日:2023-12-20
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院
Abstract: 本发明提供一种轻质耐烧蚀闭孔复合材料及其制备方法和应用,所述轻质耐烧蚀闭孔复合材料的制备原料包括:酚醛树脂、六亚甲基四胺、乙二醇、可陶瓷化的膨胀微球、3‑氨丙基三乙氧基硅烷和短切纤维;所述酚醛树脂、六亚甲基四胺、乙二醇、可陶瓷化的膨胀微球、3‑氨丙基三乙氧基硅烷和短切纤维的质量比为1:(0.01~0.10):(3~6):(0.02~0.10):(0.25~1):(0.01~0.11)。所述复合材料的低密度与闭孔结构显著提高了材料的隔热性能,具有良好的热稳定性和耐烧蚀性能,加工性好,便于产业化和规模化投产。
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公开(公告)号:CN117430911A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311759431.1
申请日:2023-12-20
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院
Abstract: 本发明提供一种轻质耐烧蚀闭孔复合材料及其制备方法和应用,所述轻质耐烧蚀闭孔复合材料的制备原料包括:酚醛树脂、六亚甲基四胺、乙二醇、可陶瓷化的膨胀微球、3‑氨丙基三乙氧基硅烷和短切纤维;所述酚醛树脂、六亚甲基四胺、乙二醇、可陶瓷化的膨胀微球、3‑氨丙基三乙氧基硅烷和短切纤维的质量比为1:(0.01~0.10):(3~6):(0.02~0.10):(0.25~1):(0.01~0.11)。所述复合材料的低密度与闭孔结构显著提高了材料的隔热性能,具有良好的热稳定性和耐烧蚀性能,加工性好,便于产业化和规模化投产。
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公开(公告)号:CN116217227A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310048067.1
申请日:2023-01-31
Applicant: 中国科学院赣江创新研究院 , 中国科学院过程工程研究所
IPC: C04B35/48 , C04B35/622 , C04B35/64
Abstract: 本发明提供一种锆铪氧化物陶瓷及其制备方法和用途,所述制备方法包括以下步骤:(1)将锆源、铪源、稳定剂和溶剂混合,得到混合液;(2)将所述混合液和沉淀剂混合,进行反应,得到沉淀物;(3)将所述沉淀物进行重结晶,干燥并煅烧后得到粉体,对所述粉体进行烧结,得到所述锆铪氧化物陶瓷。本发明提供的制备方法成本较低,可以制备得到具有高相变温度的锆铪氧化物陶瓷,有效提高了陶瓷的高温稳定性和服役温度,同时采用该方法制备的锆铪氧化物陶瓷还兼具有较高的硬度和较低的热导率。
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