公开(公告)号：CN205627549U

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201620453616.9

申请日：2016-05-18

Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所

Inventor： 卓红艳 ,  金晓 ,  孟凡宝 ,  彭文 ,  刘志强 ,  陈进 ,  宋法伦 ,  葛成良 ,  高凤琴 ,  季蓉

IPC: B01D53/26 ,  B01D46/10 ,  H05K7/20

Abstract: 本实用新型公开了一种基于光纤通信的全自动气流净化循环控制装置,所述全自动气流净化循环控制装置包括气体管路控制装置，所述气体管路控制装置包括依次连接的气瓶、进气电磁阀、热电偶、流量计、压力传感器、气体净化吸湿单元和出气电磁阀，所述气瓶和所述进气电磁阀之间依次连接有风机、电机、变频器；该实用新型能够利用气体循环的原理快速实现闭环全自动的HPM系统内部气流循环和净化，进而提高HPM系统稳定、持续的长时间工作的能力。