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公开(公告)号:CN107915202A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201711116397.0
申请日:2017-11-13
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种快速确定石英任意切向晶面湿法刻蚀结构形貌的方法,步骤包括:以 晶向作为北极点的石英半球进行湿法刻蚀并获得石英半球速率,利用对称性获得全球速率矩阵;为了确定石英给定晶向上的某一角度的掩膜的刻蚀结构面,需根据此晶向相对于 的空间角度对全球速率矩阵进行旋转变换以及插值;从速率矩阵中找出对应掩膜横截面角度的某个环的速率,根据此晶向与 晶向的位置关系选取180°或者270°范围内速率并进行二阶差分;做出二阶差分后的正向极大值以及北极点位置的速度矢量图以及各个矢量平行于掩膜边界的垂面,这些垂面所围成的轮廓即是石英在此刻蚀环境下刻蚀结构。
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公开(公告)号:CN104462711B
公开(公告)日:2017-10-10
申请号:CN201410803809.8
申请日:2014-12-22
Applicant: 东南大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 公开了一种表面活性剂作用下的单晶硅全晶面刻蚀速率的获取方法,包括:1,获取约束晶面的实验刻蚀速率;2,确定目标参数的取值范围和生成目标参数的优化种群;3,建立表面活性剂作用下的蒙特卡罗S‑AEP硅原子移除概率函数并计算目标原子的刻蚀概率;4,计算种群中各个体的约束晶面模拟刻蚀速率;5,选取某一约束晶面作为基准晶面并计算种群中各个体的约束晶面仿真刻蚀速率;6,利用个体适应度评价方法筛选出种群中最优个体;7,判断最优个体的约束晶面仿真刻蚀速率是否满足输出条件,满足则输出最优个体并生成单晶硅全刻蚀速率曲线;不满足则将最优个体编码并遗传变异,生成下一代种群,进入新一轮循环。
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公开(公告)号:CN106495089A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201610976479.1
申请日:2016-10-31
Applicant: 东南大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00428
Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀石英晶体少量晶面获取全晶面刻蚀速率的方法,包括获取约束晶面的实验刻蚀速率;建立Q-RPF石英湿法刻蚀工艺表面原子移除概率函数并确定待优化目标参数;利用KMC动力学蒙特卡洛算法计算种群中各约束晶面模拟刻蚀速率;生成目标参数的初始优化种群并利用遗传算法不断优化各个体目标参数的取值;判断约束晶面仿真刻蚀速率和实验刻蚀速率是否实现拟合,满足则输出最优个体目标参数;不满足则将最优个体目标参数编码和遗传变异,生成下一代种群,进入新一轮循环;将最优个体目标参数代入KMC动力学蒙特卡洛湿法刻蚀半球模型,输出全晶面刻蚀速率。
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公开(公告)号:CN105203008A
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201510613873.4
申请日:2015-09-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种平板天线的平面度检测方法及其快速可调节工装,包括平板底座、在平板底座上设有呈阵列分布的支撑结构单元,其支撑结构单元包括套筒支撑件,在套筒支撑件内设有表面带有刻度尺的支撑件,以及用于固紧支撑件的锁紧螺栓,在检测时,将平板底座置于水平面内,以支撑件表面的刻度尺为依据,将各个支撑件的顶端调至相同的高度并用锁紧螺栓固定支撑件,采用水平仪对各个支撑件顶端的高度进行等高校正,将平板天线放置在支撑件上,再用测量仪检测平板天线的位置高度,并根据其位置高度,计算得到平板天线的平面度。该检测方法及其快速可调节工装操作简单方便,且能够解决目前检测工作量大、测量反复、平面度检测精度和质量不高等问题。
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公开(公告)号:CN104816266A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201510212693.5
申请日:2015-04-29
Applicant: 东南大学
IPC: B25B11/02
CPC classification number: B25B11/02
Abstract: 本发明公开一种用于天线筋板装配的柔性工装装置,包括底座、支撑顶板、上层工装结构单元和下层工装结构单元;每层工装结构单元包括支撑板、立柱、旋转轴、支撑体、两个X向导轨、夹持模块组件、连接体和滑轨座,立柱和支撑体分别固定连接在支撑板的顶面;两个X向导轨固定连接在支撑体的一端面;旋转轴的一端与连接体配合,且与夹持模块组件固定连接;滑轨座的一端面通过滑块与X向导轨滑动连接;滑轨座的另一端面设有两个Y向导轨,连接体的一端面通过滑块与Y向导轨滑动连接;底座上设有Z向导轨,下层工装结构单元的支撑板通过滑块连接在Z向导轨上。该柔性工装装置解决天线装配工装可重组利用性不强、机构自由度不高和装配效率低的问题。
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公开(公告)号:CN217391099U
公开(公告)日:2022-09-09
申请号:CN202220375543.1
申请日:2022-02-23
Applicant: 东南大学 , 南京积家医疗器械科技有限公司
IPC: A61H1/02
Abstract: 本实用新型涉及一种上下肢康复机器人装置,包括机械臂及其控制系统,所述机械臂执行末端上设有快拆式夹具、六维力传感器和肌电信号传感器;所述快拆式夹具与所述六维力传感器连接;所述六维力传感器与机械臂执行末端连接,并与控制系统的主控计算机连接;所述快拆式夹具用于将患肢与机械臂快速连接或脱离;所述六维力传感器和所述肌电信号传感器用于向所述控制系统反馈信号。本实用新型的上下肢康复机器人,可替代或辅助医生或技师进行上下肢康复训练,可根据医生经验、患者特点来提供更个性化、更精准的上下肢康复方案,满足患者对康复训练的要求。
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