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公开(公告)号：CN112204829A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201980017688.5
申请日：2019-03-01
Applicant: 相干公司
Abstract: 将二氧化碳气体放电平板激光器组装在激光器壳体中。激光器壳体由中空挤压件形成。挤压件的内表面提供了激光器的接地电极。另一个带电电极位于挤压件内，与接地电极电绝缘并平行于接地电极，从而形成了平板激光器的放电间隙。电极由平行的陶瓷条间隔开。挤压件和带电电极均不包括任何直接的流体冷却装置。激光器壳体通过安装在其外部的流体冷却板进行冷却。
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公开(公告)号：CN111952822A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010741966.6
申请日：2020-07-29
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MOPA结构的双腔准分子激光器的光源同步控制系统，其中，触发控制模块分别产生用于触发MO腔和PA腔进行放电激励的触发信号，且将MO腔和PA腔的触发信号均反馈至延时测量模块；延时测量模块根据取样得到的MO腔和PA腔的放电信号，以及根据接收得到的MO腔和PA腔的触发信号，计算MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，以及计算PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，并将MO腔以及PA腔的延时数据均发送至所述触发控制模块；触发控制模块根据MO腔以及PA腔的延时数据，分别产生MO腔和PA腔的下一个触发信号。本发明实现了在少量触发脉冲个数后即可获得稳定的双腔同步，满足在集成电路光刻中正常使用的需求。
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公开(公告)号：CN111864515A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010468972.9
申请日：2020-05-28
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 本发明提供2.33μm激光光源以及级联结构的4.66μm光纤气体激光器，包括泵浦源、泵浦耦合光学组件、第一级反共振空芯光纤、级间耦合光学组件、第二级反共振空芯光纤和准直输出光学组件，所述泵浦源输出的泵浦激光经泵浦耦合光学组件耦合进第一级反共振空芯光纤的纤芯中，1.5μm波段泵浦激光在第一级反共振空芯光纤的纤芯中与纤芯中充入的一氧化碳气体相互作用，受激辐射跃迁生成的2.33μm激光经级间耦合光学组件耦合进第二级反共振空芯光纤的纤芯中，2.33μm激光在第二级反共振空芯光纤的纤芯中与纤芯中充入的一氧化碳气体相互作用，受激辐射跃迁生成的4.66μm激光后经准直输出光学组件准直输出。本发明利用CO气体的吸收辐射跃迁的特点，实现4.66μm激光输出。
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公开(公告)号：CN105580220B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201480039953.7
申请日：2014-05-13
Applicant: GSI集团公司
Inventor： 詹森·W·贝瑟尔 , 梅尔文·J·利马 , 雅科夫·L·利特曼维奇
Abstract: 用于气体板条激光器的管包括具有第一电极内表面的第一电极(203b)和具有第二电极内表面的第二电极(203a)。第一电极在第一横向上与第二电极隔开，由此定义充当放电区(205)的间隙区(207)。该管还包括第一和第二伸长挡板部件(204a、204b)，各自分别具有形成于其内表面的伸长中央通道(209a、209b)。由此形成放电自由分隔区(209a、209b)。由此除其他以外还可能避免杂散放电和/或外围激光辐射(211)与挡板的内表面(206a、206b)接触，避免生成高阶激光模式并改进光束指向稳定性。
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公开(公告)号：CN111390663A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010238289.6
申请日：2020-03-30
Applicant: 宿州市久协医药信息咨询有限公司
Inventor： 梁瑞倚
Abstract: 本发明涉及二氧化碳激光器制作技术领域，且公开了一种医疗用二氧化碳激光器放电管制作设备，包括管体，所述管体的表面活动连接有连接套，连接套的表面活动连接有推杆，推杆的表面固定连接有气囊，推杆的表面且位于气囊的底部固定连接有挡持架，挡持架的内部通过压缩弹簧活动连接有磨盘，所述连接带的内部活动连接有施压轮，施压轮的表面活动连接有调节件，施压轮的内部活动连接有气流管，气流管的表面活动连接有伸缩杆，伸缩杆远离气流管的一端活动连接有弹簧丝。则表面管体表面没有裂纹，反之若某个施压轮凹陷或者凸起，则表面管体表面不平整，从而达到了利用打磨放电管的工作动作进行刚性以及裂纹检测的效果。
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公开(公告)号：CN111326942A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201911087506.X
申请日：2019-11-08
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高光束点的位置精度并且能够抑制效率的下降的气体激光装置。所述气体激光装置在激光气体进行循环的循环流路的一部分(即，放电区域)产生放电从而输出激光束。热交换器对在循环流路中循环的激光气体进行冷却。温度传感器测定从热交换器流向放电区域的激光气体的温度。控制装置根据温度传感器的温度测定值控制热交换器的冷却能力，以使温度传感器的测定值成为30℃以下的目标温度。
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公开(公告)号：CN108448374B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810254168.3
申请日：2018-03-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于空芯光纤空间相干组束的周期量级激光系统，该系统将多光路光学参量啁啾脉冲放大技术及空间相干组束技术和激光光束在空芯光纤系统的后压缩技术相结合，最终实现大能量及少周期脉宽的激光脉冲输出。本发明中的系统利用了单路光学参量啁啾脉冲放大的高增益和无热效应的特点，使相同种子光经过N路光学参量啁啾脉冲放大压缩，然后对放大后的信号光进行空间相干合成，再经过整形聚焦后注入到空芯光纤压缩系统中，实现大能量，少周期短脉宽，光束质量好的激光脉冲输出。该发明大大降低了对光学参量啁啾脉冲放大中晶体和压缩器中光栅的损伤阈值的要求，也大大降低了空间相干组束过程中对每路输出光的相对延时控制的严格要求。
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公开(公告)号：CN108110596B
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201711453483.0
申请日：2017-12-27
Applicant: 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本公开提供了一种碱金属激光器，包括：半导体激光器，用于输出泵浦光；碱金属蒸气室，包括两个平行的窗口片；以及高反射镜，用于反射碱金属原子的2P1/2→2S1/2跃迁对应波长的光振荡；其中，利用所述两个平行的窗口片之间的标准具效应，作为所述碱金属激光器激光输出耦合元件，输出碱金属原子的2P1/2→2S1/2跃迁对应波长的激光。本公开碱金属激光器，利用蒸气室充当输出耦合镜，有效避免了因窗口片未镀膜带来的插入损耗，减少了谐振腔的总损耗，不存在寄生振荡，克服了窗口不镀膜对DPAL功率和效率的影响，可以实现长寿命的DPAL。
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公开(公告)号：CN110635344A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201911055016.1
申请日：2019-10-31
Applicant: 成都微深科技有限公司
Inventor： 殷卫援
Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，特别是一种具有整体支撑组件的激光器设备，包括激光器和用于支撑激光器的支座，入液管和出液管中至少一个与储气管柔性连接，储气管的侧壁上具有与支座支撑配合的支撑部，水冷管与储气管之间设置有用于支撑水冷管的支撑过渡装置，支撑过渡装置的抗弯刚度大于水冷管的抗弯刚度，支撑过渡装置与储气管通过至少两个支脚支撑连接，所有支脚分布于至少两个支撑部上。本申请的一种具有整体支撑组件的激光器设备，在保证放电管的直线度以及水冷管的冷却效果的同时，能够大大减小放电管和水冷管对储气管的影响，以保证储气管的直线度要求，进而保证反射镜片和输出镜片的平行度要求。
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公开(公告)号：CN110600974A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201911054980.2
申请日：2019-10-31
Applicant: 成都微深科技有限公司
Inventor： 殷卫援
Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，特别是一种具有支撑过渡装置的激光器组件，包括激光器和用于支撑激光器的支座，激光器包括由外而内依次套设的储气管、水冷管和放电管，储气管的侧壁上具有与支座支撑配合的支撑部，水冷管与储气管之间设置有用于支撑水冷管的支撑过渡装置，支撑过渡装置的抗弯刚度大于水冷管的抗弯刚度，支撑过渡装置与储气管通过至少两个支脚支撑连接，所有支脚分布于至少两个支撑部上。本申请的一种具有支撑过渡装置的激光器组件，在保证放电管的直线度以及水冷管的冷却效果的同时，能够大大减小放电管和水冷管对储气管的影响，以保证储气管的直线度要求，进而保证反射镜片和输出镜片的平行度要求。
