公开(公告)号：CN207968089U

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201721672788.6

申请日：2017-12-05

Applicant: 广东电网有限责任公司江门供电局 ,  清华大学

Inventor： 张超 ,  余占清 ,  黄耀升 ,  牟亚 ,  陈志锋 ,  王晓蕊 ,  梁海蓬

IPC: H02J50/27 ,  G01R29/08

Abstract: 一种MEMS电场传感器的无线供能系统及MEMS电场传感器。无线供能系统包括信号源、功率放大器、发射天线、接收天线、后端电路；信号源产生的高频交流信号经过功率放大器放大，然后经过发射天线转换为高频电磁波，接收天线接收高频电磁波并转为了电能，后端电路经过一系列的整流、滤波、电压电流转换为满足后端负载所需的电能；其中接收天线、后端电路和电场感应芯片、信号处理电路共同组成MEMS电场传感器。该电场传感器采用无线供能方案，解决了长期持续工作的供能问题，并且保证了电位隔离；同时，集成传感器体积微小，引起的电场畸变程度小，测量准确度高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207468189U

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201721249033.5

申请日：2017-09-27

Applicant: 广东电网有限责任公司惠州供电局 ,  清华大学

Inventor： 余占清 ,  王铁柱 ,  蔡素雄 ,  王晓蕊 ,  高士森 ,  黄泽荣 ,  施理成

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器，该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术，采用压阻式悬臂梁结构，将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置，通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥，能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209559360U

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201821965998.9

申请日：2018-11-27

Applicant: 广东电网有限责任公司惠州供电局 ,  清华大学

Inventor： 余占清 ,  王晓蕊 ,  牟亚 ,  曾嵘 ,  庄池杰

IPC: G01K7/24

Abstract: 本实用新型公开了一种温度传感器，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利