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公开(公告)号:CN101889102B
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN200880119186.5
申请日:2008-11-17
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/50 , C23C14/505
Abstract: 一种真空镀层设备,具有:反应气体入口(12);至少一个具有平面的阴极(11)的PVD镀层源(8、21);带有多个基材(7)的基材载体(6),其中基材载体(6)二维地水平延展,该基材载体位于至少两个PVD镀层源之间,多个基材(7)是切削刀具,且在平面的基材(7)的周围的边缘区域中具有至少一个切削边(E),这些基材分布在二维延展的基材载体(6)的平面上,其中基材载体(6)在水平面(3)上在真空过程腔室(1)中间隔地设置在至少两个PVD镀层源(8、21)的平面的阴极(11)之间,使得每个至少一个切削边(E)的至少一部分含有有效的切削边(E′),且该有效的切削边在可见方向上在任何时候都暴露在PVD镀层源(8、21)的至少一个阴极(11)的对面。
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公开(公告)号:CN101720365B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN200880016247.5
申请日:2008-05-05
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C30/005 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/321 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/341 , C23C28/345 , C23C28/3455 , C23C28/347 , C23C28/36 , Y10T407/27 , Y10T428/24942 , Y10T428/24983 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供了带有单层或多层PVD涂层的尖锐切削刃切削工具,其可以同时表现出令人满意的磨损和热化学抗性以及对刃口剥落的抗性。切削工具包括由烧结碳化物、CBN、金属陶瓷或陶瓷材料制成的烧结体,其具有刃口半径为Re的切削刃、侧刀面和前刀面、以及覆盖至少部分烧结体表面的多层涂层,所述多层涂层由包含至少一层氧化PVD层的PVD涂层构成。在一个实施方案中,刃口半径Re小于40μm,优选小于或等于30μm。所覆盖的部分表面优选包含烧结体的尖锐切削刃的至少某些部分。
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公开(公告)号:CN101889102A
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN200880119186.5
申请日:2008-11-17
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/50 , C23C14/505
Abstract: 一种真空镀层设备,具有:反应气体入口(12);至少一个具有平面的阴极(11)的PVD镀层源(8、21);带有多个基材(7)的基材载体(6),其中基材载体(6)二维地水平延展,该基材载体位于至少两个PVD镀层源之间,多个基材(7)是切削刀具,且在平面的基材(7)的周围的边缘区域中具有至少一个切削边(E),这些基材分布在二维延展的基材载体(6)的平面上,其中基材载体(6)在水平面(3)上在真空过程腔室(1)中间隔地设置在至少两个PVD镀层源(8、21)的平面的阴极(11)之间,使得每个至少一个切削边(E)的至少一部分含有有效的切削边(E′),且该有效的切削边在可见方向上在任何时候都暴露在PVD镀层源(8、21)的至少一个阴极(11)的对面。
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公开(公告)号:CN101522950A
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN200780037657.3
申请日:2007-09-03
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C30/00 , C23C14/08 , C23C28/042
Abstract: 一种用于涂覆工件的PVD层体系,其包括至少一层组成为(Me11-xMe2x)2O3的多元氧化物的混晶层。其中Me1和Me2各包含元素Al、Cr、Fe、Li、Mg、Mn、Nb、Ti、Sb或V中的至少一种。Me1和Me2的元素各不相同。在PVD层体系中的混晶层的晶格具有刚玉结构,其通过在用X射线衍射法所测的所述混晶层的谱中的至少3条属刚玉结构的谱线表征。还公开了用于制备多元氧化物的混晶层的真空涂覆方法以及相应的经涂覆的工具和构件。
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公开(公告)号:CN101175867A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200680009395.5
申请日:2006-01-19
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及用电弧PVD方法在工件(30)上沉积的作为功能层(32)的一种硬材料层,其中该功能层主要构成为由元素周期表的副族IV、V、VI的过渡金属和Al、Cr、Fe、Ni、Co、Y中至少一种金属(Me)组成的电绝缘的氧化物,并且功能层(32)不含有惰性气体也不含有卤素。
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公开(公告)号:CN101855699B
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN200880115233.9
申请日:2008-02-29
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/08 , C23C14/081 , H01J37/32055 , H01J37/32064
Abstract: 本发明涉及一种操作电弧源的方法,其中在目标的表面点燃或操作火花放电,并且同时利用分配有直流电压DV的直流电流以及由周期性施加的电压信号所生成的脉冲电流来馈送该火花放电。在此,所述电弧源上的电压在几微秒的时间跨度上被提高,以及所述电压信号的信号形状基本上可以自由调整。
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公开(公告)号:CN101490305B
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN200780027414.1
申请日:2007-07-12
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/081 , H01J37/32055 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J37/345 , H01J37/3467
Abstract: 一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备导电性差的层特别是绝缘层的方法,其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和至少一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行,在与阴极电连接的靶表面上不产生或仅产生小的基本上垂直于靶表面的外磁场以辅助蒸发过程,通过另外的涂覆源的表面的再涂覆度小于10%,或该磁场由包括至少一个具有类似于靶周边的几何形状的轴向极化线圈的磁体系产生。
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公开(公告)号:CN101151701B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200680009516.6
申请日:2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备,具有一个电弧蒸发源(5),所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`),还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18、20)。这两个电极(5`、3、18、20)都与一个脉冲电源(16)连接地运行。
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公开(公告)号:CN101522950B
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN200780037657.3
申请日:2007-09-03
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C30/00 , C23C14/08 , C23C28/042
Abstract: 一种用于涂覆工件的PVD层体系,其包括至少一层组成为(Me11-xMe2x)2O3的多元氧化物的混晶层。其中Me1和Me2各包含元素Al、Cr、Fe、Li、Mg、Mn、Nb、Ti、Sb或V中的至少一种。Me1和Me2的元素各不相同。在PVD层体系中的混晶层的晶格具有刚玉结构,其通过在用X射线衍射法所测的所述混晶层的谱中的至少3条属刚玉结构的谱线表征。还公开了用于制备多元氧化物的混晶层的真空涂覆方法以及相应的经涂覆的工具和构件。
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公开(公告)号:CN102016104A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200980114304.8
申请日:2009-02-06
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F2998/00 , C22C1/0416 , C23C14/0036 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , Y10T428/12028 , B22F3/15
Abstract: 本发明涉及通过PVD(物理气相沉积)、特别是通过阴极弧蒸发制造氧化层的方法,其中粉末台金靶被蒸发,且所述粉末冶金靶由至少两种金属或半金属组分形成,选择与所述靶相应的金属或半金属组分的化学组成从而使得在从室温到液相转变的加热过程中,基于所述至少两种金属或半金属组分的熔融混合物的相图,不会穿过任何纯固相的相界。
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