公开(公告)号：CN1222019C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN02805921.2

申请日：2002-11-21

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 井上阳一 ,  增田薰 ,  饭岛胜之

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02063 ,  B08B7/0021 ,  H01L21/31133 ,  Y10S134/902

Abstract: 一种用于在高压处理室中通过使制品与超临界二氧化碳和一种化学流体进行接触，除去附着在被处理制品上积垢材料的方法，它包括实施除去在被处理制品上的积垢材料的步骤，在几乎相同压力条件下的第一次清洗步骤和第二次清洗步骤，同时允许超临界二氧化碳连续流动。

公开(公告)号：CN1494733A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN02805921.2

申请日：2002-11-21

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 井上阳一 ,  增田薰 ,  饭岛胜之

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02063 ,  B08B7/0021 ,  H01L21/31133 ,  Y10S134/902

Abstract: 一种用于在高压处理室中通过使制品与超临界二氧化碳和一种化学流体进行接触，除去附着在被处理制品上积垢材料的方法，它包括实施除去在被处理制品上的积垢材料的步骤，在几乎相同压力条件下的第一次清洗步骤和第二次清洗步骤，同时允许超临界二氧化碳连续流动。

公开(公告)号：CN1457502A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。