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发明授权
一种射频电源自动阻抗匹配装置、系统以及方法有权转让

公开(公告)号：CN115882806B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202310148699.5

申请日：2023-02-22

Applicant: 季华实验室

Inventor： 马聪伟 , 姚龙 , 侯丽丽 , 李晓峰

IPC: H03H7/38 , H01J37/32

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