树脂的制造方法、超纯水制造方法以及超纯水制造装置

    公开(公告)号:CN117917969A

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202280060777.X

    申请日:2022-08-08

    Abstract: 本发明提供一种能够使精制工序高效化的新的催化剂金属担载树脂制造方法、以及使用由此制造的催化剂金属担载树脂的超纯水制造方法。树脂X的制造方法包括:将担载有催化剂金属的第一阴离子交换树脂A1和未担载催化剂金属的第二阴离子交换树脂A2填充到同一容器中;以及将填充到上述容器中的第一阴离子交换树脂A1和第二阴离子交换树脂A2一起精制。超纯水制造方法包括:使包含过氧化氢或溶解氧的被处理水与这样制造的至少包含树脂X的离子交换树脂接触,从而降低过氧化氢或溶解氧的量。

    微粒测定装置和具备其的超纯水制造装置以及微粒测定方法

    公开(公告)号:CN117480374A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202280040880.8

    申请日:2022-03-18

    Abstract: 本发明提供一种能够不受限于粒径而提高微粒数的测定精度且能够迅速测定的微粒测定装置。微粒测定装置具有:第一及第二微粒计数器(12A、12B),获得在超纯水制造装置的给定的区间流动的水中所含的微粒数;和微粒数计算单元(12C),基于第一和第二微粒计数器(12A、12B)的计测结果,按各个粒径范围计算在所述给定的区间流动的水中所含的微粒数,第一微粒计数器(12A)和第二微粒计数器(12B)的计数效率互不相同。

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