公开(公告)号：CN109427661A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201811015011.1

申请日：2018-08-31

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 前田昌纪 ,  原义仁 ,  大东彻 ,  今井元 ,  北川英树 ,  伊藤俊克 ,  川崎达也

IPC: H01L21/77 ,  H01L23/544

Abstract: 缩小配置空间并且提高对准精度。阵列基板(10B)的制造方法具备：第1金属膜形成工序，通过形成第1金属膜(23)并对其进行图案化，形成具有包括开口的下层侧对准标记(39)的下层侧对准标记构成部(40)；第2金属膜成膜工序，形成第2金属膜(25)；光致抗蚀剂膜形成工序，通过形成光致抗蚀剂膜(41)并对其进行图案化，形成与下层侧对准标记的至少一部分重叠的下层侧对准标记重叠部(42)；蚀刻工序，通过选择性地蚀刻并除去第1金属膜(23)和第2金属膜中的与光致抗蚀剂膜的下层侧对准标记重叠部不重叠的部分，形成包括第2金属膜的上层侧对准标记(38)；以及光致抗蚀剂膜剥离工序，剥离光致抗蚀剂膜。

公开(公告)号：CN109313517A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780035818.9

申请日：2017-06-07

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 原义仁 ,  前田昌纪 ,  富永真克 ,  小笠原功 ,  前野训子 ,  纸谷晋吾 ,  三村泰裕 ,  堀内智 ,  浅井芳启

IPC: G06F3/041 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1368 ,  G06F3/044

Abstract: 提供不使显示品质下降，而能够提高触摸感测的精度的具有触摸面板的显示装置及其制造方法。具有触摸面板的显示装置包括有源矩阵基板(1)。有源矩阵基板(1)包括：多个像素电极(31)、在与多个像素电极(31)之间形成电容的多个对向电极(21)、多条触摸检测用配线(22)、第一绝缘层(461)以及第二绝缘层(462)。多条触摸检测用配线(22)与多个对向电极(21)的任意一个连接并对所连接的对向电极(21)提供触摸检测用驱动信号。一个像素电极(31)与一个对向电极(21)之间配置有第二绝缘层(462)。另外，一个触摸检测用配线(22)上配置有第一绝缘层(461)，该第一绝缘层(461)上配置有所述第二绝缘层(462)，该第二绝缘层(462)上配置有一个对向电极(21)。

公开(公告)号：CN104704547B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201380051576.4

申请日：2013-09-25

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中田幸伸 ,  前田昌纪

IPC: G09F9/30 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L27/1244 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/136204 ,  G02F1/136277 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/0296 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/1262 ,  H01L27/127 ,  H01L29/7869

Abstract: 阵列基板(11b)包括：第一二极管(29)，其具有由第二金属膜(38)构成的第一电极部(29a、29b)、和通过第一二极管侧开口部(29c1、29c2)与第一电极部(29a、29b)连接的第一半导体部(29d)；接触部(32)，其具有由第一金属膜(34)构成且在栅极配线(19)的端部形成的栅极配线侧连接部(48)和通过接触部侧开口部(49a)与栅极配线侧连接部(48)连接的二极管侧连接部(50)；和静电保护部(51)，其具有由半导体膜(36)构成，用于引导在将第二金属膜(38)成膜前的阶段在第一二极管(29)和接触部(32)中的任一方产生的静电的静电引导部(52)，和由保护膜(37)构成，具有在俯视时与静电引导部(52)重叠的位置贯通形成的静电引导开口部(53a)的引导部保护部(53)。