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公开(公告)号：CN103311386B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201310206973.6
申请日：2013-05-29
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明提供一种避免图形失真的图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括如下几个步骤：步骤A:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜；步骤B:在金属铝膜上施涂光刻胶膜，烘干;步骤C:进行激光干涉曝光、显影，获得光刻胶图形；步骤D:以金属铝膜上图形化光刻胶为掩膜，采用反应离子刻蚀金属铝膜和去胶，在蓝宝石基片上获得金属铝膜凸台的图形化金属铝膜；步骤E:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤F:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，使图形化多晶Al2O3膜完全转化为图形化单晶Al2O3膜，即得到图形化蓝宝石衬底。本发明的图形化蓝宝石衬底的制备方法，工艺简单易行，成本低，面积大。
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公开(公告)号：CN104710982B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201510115144.6
申请日：2015-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: C09K11/64
Abstract: 本发明提供了一种稀土离子共掺杂的铝硅酸盐(莫来石基质)新型绿光荧光粉及其制备方法，属于发光材料技术领域。新型绿光荧光粉化学组成为aAl2O3﹒bSiO2﹒cCeO2﹒dTb4O7，其中a,b,c,d为摩尔分数，a/b＝3/2，0≤c≤2.0％，0≤d≤5.0％，c和d不同时为零。制备方法具体实施步骤为：按化学式中各元素的化学计量比称取原料，充分混合，并在室温下球磨；将球磨充分的样品放入通有还原性气氛的高温管式炉中，在1450～1550℃下煅烧2～6小时；待炉腔冷却至室温，取出样品进行破碎研磨；后续可添加H3BO3助熔剂、水洗或/和SiO2包覆等处理，即可获得所需荧光粉。本发明制备的荧光粉，其结晶性和颗粒表面形貌良好，发光强度高(尤其有优异的热稳定性)，适于用作紫外光激发的LED用绿光荧光粉。
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公开(公告)号：CN104846336A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510126108.X
申请日：2015-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种蓝宝石表面抗反射微纳结构及其制备方法，该制备方法，包括：在蓝宝石表面制备一层金属铝膜；将所述金属铝膜经两次阳极氧化后形成表面均匀有序多孔的氧化铝薄膜；将所述多孔氧化铝薄膜经两步热处理后形成表面具有孔状微纳结构的蓝宝石。本发明的制备工艺简单，能显著降低制备成本；并且所制备的蓝宝石表面微纳结构，较均匀有序，在可见光或中红外波段具有明显的抗反射增透效果，同时表面自清洁性更佳。
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公开(公告)号：CN103337575A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310272318.0
申请日：2013-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括如下几个步骤：步骤A:在光栅结构图形硬模板上旋涂甲苯稀释的PDMS；步骤B:在甲苯稀释的PDMS上涂覆PDMS预聚物;步骤C:脱模，获得PDMS软压印模板；步骤D:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜；步骤E:脱模，获得紫外固化胶图形;步骤F:以金属铝膜上图形化紫外固化胶为掩膜；步骤G:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤H:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，即得到图形化蓝宝石衬底。本发明获得的用于氮化物外延生长的图形化蓝宝石衬底，工艺简单易行，生产效率高，成本低，面积大。
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