公开(公告)号：CN203999800U

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201420403821.5

申请日：2014-07-22

Applicant: 张平 ,  台州学院

Inventor： 林岚 ,  邹慧慧 ,  张平

IPC: C23C14/52

Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本实用新型可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中，并与观察玻璃贴合，达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔，可以阻挡污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，减少观察玻璃的拆卸次数，保护观察玻璃不被污染，达到保护观察窗的目的。本实用新型由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成，不需要复杂的加工，制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将圆筒从观察窗座内腔内取出，然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗，方便简单。

公开(公告)号：CN205024321U

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201520229565.7

申请日：2015-04-16

Applicant: 张平 ,  台州学院

Inventor： 张平 ,  杨康 ,  王慧斌 ,  张梦贤 ,  方一航

IPC: C23C14/52

Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，包括带有固定挡片、内卡圈、外卡圈等结构的不锈钢筒体及保护玻璃。本实用新型在观察窗现有保护措施的基础上，采用一种简单的装置，将保护玻璃置于观察窗座内腔中，使得观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，从而有效地阻止污染物沉积在观察玻璃上，大大减少观察玻璃拆卸的次数，达到保护观察窗的目的。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将本实用新型从观察窗座内腔中取出，然后将保护玻璃从不锈钢筒体的一端取出便可进行清理。无需拆卸观察窗，操作方便简单，不影响真空室密封性能，保护玻璃清理干净后可以重新使用。