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公开(公告)号:CN108344764A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201810205455.5
申请日:2018-03-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了低温高真空复合加热台。该石英底座装设在真空保护罩内且试样样品置放石英底座上,该加热台能通过热传导加热试样样品。该真空保护罩上设有开口,该真空保护罩盖连接在真空保护罩上,该真空保护罩盖上设有可视窗。该四通管的第一端口接通真空保护罩,该放气阀接在第二端口和真空计之间,该第一控制阀接在第三端口和保护气体储气罐之间,该第二控制阀接在第四端口和控制系统之间,该控制系统接有抽气管道,该抽气管道接通真空泵和分子泵。它具有如下优点:能在低温区域(600℃以下)精确控制加热温度,能根据需要选择在真空环境下加热实验或通有惰性保护气体环境下加热实验。
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公开(公告)号:CN119673778A
公开(公告)日:2025-03-21
申请号:CN202510198737.7
申请日:2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/48 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/473 , B24D18/00 , B24D3/10 , B24D3/34
Abstract: 本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法,涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具,以多线切割机床为加工设备,通过使线网快速形成线弓的方法,让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体,金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物,再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除,进而露出新鲜的金刚石表面,如此循环上述过程,实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。
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公开(公告)号:CN108747878B
公开(公告)日:2023-07-28
申请号:CN201810764945.9
申请日:2018-07-12
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明公开了一种钎焊多层金刚石磨头的制样装置,属于超硬磨料工具制造技术领域。该装置包括刀架,刀头,万能夹头,无极变速电动机,底板,二轴工作台,蜂窝板,精密固定螺栓。本装置通过设计刀头的尺寸、形状,调整刀头与金刚石磨头基体的相对位置,并利用电动机360度旋转时产生的离心力,在胶水凝固后完成不同尺寸规格、不同磨粒复合层厚度、不同形状结构金刚石磨头的制样。本专利操作便捷,新型实用,它可实现钎焊多层金刚石磨头的制样工艺。
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公开(公告)号:CN113390787A
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN202110649662.1
申请日:2021-06-10
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种金刚石修整器的磨粒结合力测试装置及测试方法,测试装置包括可动平台、夹持件、安装支架、测力模块及推剪刀具;夹持件固定在该可动平台上,推剪刀具固设在安装支架上且位于夹持件上方,当可动平台移动时,推剪刀具与夹持件上的金刚石修整器形成相对运动且推剪刀具对金刚石修整器上的磨粒进行推剪,测力模块用于获取推剪刀具与金刚石修整器推剪时产生的相互作用的推剪力;它具有如下优点:实现对金刚石修整器上所有磨粒的结合力的整体测试及评价,测试装置结构及测试方法新颖,巧妙,可操作性强。
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公开(公告)号:CN108655524B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201810244859.5
申请日:2018-03-23
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种低温钎焊立方氮化硼磨粒的方法,属于超硬磨料工具制造技术领域。该方法用丙酮超声清洗立方氮化硼磨粒并烘干,在抛光后的工具基体上依次铺洒Sn‑Cu‑Ti合金粉末和立方氮化硼磨粒,将工具基体置于石英管内并抽真空,接着将其移至加热炉内并在350℃‑700℃温度下加热5‑60分钟,然后在保持抽真空状态下将其冷至室温。它能产生如下技术优点:在确保钎料与cBN磨粒发生化学键合并使得磨粒有足够结合强度的前提下,大幅度降低钎焊温度来降低工具基体金属材料性能以及尺寸形状的损失,减少cBN磨粒与钎料结合界面处的残余热应力。
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公开(公告)号:CN110530799A
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201910721403.8
申请日:2019-08-06
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法,在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层,非加工面与加工面相互平行且呈背向设置,非加工面为光滑无损表面;再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作,并在每一道减薄加工操作之前后,将椭偏仪的入射光以设定的入射角扫描非加工面上的薄膜层,入射光经薄膜层和晶圆反射或透射后出射的椭偏信号经椭偏仪探测器接收,一旦在晶圆的辅助测量薄膜层上探测到的椭偏信号出现变化,则该出现椭偏信号变化对应的位置即为最大加工损伤位置。它具有如下优点:实现全局、无损、快速精准定位晶圆上的最大加工损伤位置,实时跟踪晶圆的加工状态,对实际晶圆的加工工艺的选择与优化具有重要的指导意义。
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公开(公告)号:CN110153911A
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201910385165.8
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用活性铝硅合金结合剂钎焊超硬磨料的方法,是用活性铝硅合金来充当超硬磨料与工具基体的结合剂,该活性铝硅合金结合剂以重量百分比记的元素成分包括:Si0~30%,Ti0.25%~6%,Mg0~0.5%,Cu0~5%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,Sr0~0.5%,Na0~0.5%,余量为Al连同不可避免的杂质;将活性铝硅合金结合剂涂覆在工具基体上,然后将超硬磨料排布于活性铝硅合金结合剂表面,最后通过加热设备在一定的氛围下按一定的钎焊工艺加热以实现超硬磨料与工具基体的钎焊连接。利用此方法钎焊超硬磨料,超硬磨料可牢固焊接,并可以实现在相对较低温度下焊接,减少焊接过程中的热损伤,增加超硬磨料工具的使用寿命。
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公开(公告)号:CN110153907A
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201910386074.6
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种铝硅合金结合剂立方氮化硼磨盘及其制造方法,该铝硅合金结合剂成分按重量比包括元素成分:Si0~30%,Ti0.25%~6%,Mg0~0.5%,Cu0~5%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,Sr0~0.5%,Na0~0.5%,余量为Al连同不可避免的杂质;将铝硅结合剂与立方氮化硼粉末充分混合,将混合物冷压成型后;在烧结工艺下,进行真空热压烧结,得到铝硅合金基立方氮化硼磨盘节块;随后将烧结得到的立方氮化硼磨盘节块装接在磨盘基体上,就得到本发明的磨盘。本发明使用的铝硅结合剂可实现低温烧结,减少立方氮化硼热损伤,同时活性Ti元素的引入可显著增加立方氮化硼磨粒的把持能力,两者共同提高磨盘的耐磨性能,增加立方氮化硼磨盘的使用寿命。
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公开(公告)号:CN110052974A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201910386088.8
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D3/14 , B24D3/34 , B24D18/00 , C04B35/583
Abstract: 本发明公开了一种铝硅合金结合剂立方氮化硼磨轮及其制造方法,该铝硅合金结合剂成分按重量比包括元素成分:Si0~30%,Ti0.25%~6%,Mg0~0.5%,Cu0~5%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,Sr0~0.5%,Na0~0.5%,余量为Al连同不可避免的杂质;将铝硅结合剂与立方氮化硼粉末充分混合,将混合物冷压成型后;在烧结工艺下,进行真空热压烧结,得到铝硅合金基立方氮化硼磨轮粗品;随后将烧结得到的立方氮化硼磨轮进行修整,就得到本发明的磨轮。本发明使用的铝硅结合剂可实现低温烧结,减少立方氮化硼热损伤,同时活性Ti元素的引入可显著增加立方氮化硼磨粒的把持能力,两者共同提高磨轮的耐磨性能,增加立方氮化硼磨轮的使用寿命。
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