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公开(公告)号：CN207083268U
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201720715815.7
申请日：2017-06-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/34
Abstract: 本实用新型提供了一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置。该装置包括：等离子体发生单元、加热单元和供气单元。所述加热单元包括电热件、高温绝缘套管、绝缘隔热组件、接线端子和电源；热电子发射阴极、阳极筒、高压电源和高压接线端子；供气单元包含高压气罐和气管。该装置可在常压环境下提供高密度等离子体。该装置具有如下有优点：结构简单、体积小、造价成本低，产生等离子体密度大和无臭氧等副产物产生。本实用新型还具有成本相对较低、结构简单，可便携移动，灵活度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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