公开(公告)号：CN100356160C

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200510026156.8

申请日：2005-05-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  李昕欣

IPC: G01N13/16 ,  G01B21/32 ,  G01N3/00

Abstract: 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具体步骤是(1)首先将已知弹性系数ko的带有探针的悬臂梁安装在原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其总形变量δtot；(2)将未知悬臂梁或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δt1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δt2；(4)再采用δtest＝(δt1+δt2)/2计算出平均形变量；(5)再利用公式见右下式进行计算，得到弹性系数；式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角，0.3ko＜k＜3ko。本方法可扩展测试其他微结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。

公开(公告)号：CN101034092A

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200710037952.0

申请日：2007-03-09

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  李昕欣 ,  陆德仁 ,  宋朝辉

IPC: G01P15/08

Abstract: 本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过程的输出波形。从时间历程分析上，由两个传感器产生的波同时被记录下来，主冲击波到达前沿能够容易识别，且其加速度幅值可以确定下来；利用两次冲击过程即可以实现横向和敏感方向灵敏度的测试，通过计算即得到横向响应。本发明具有方便易行、容易识别且可获得冲击过程中敏感方向和非敏感方向的灵敏度，而不需要知道绝对加速度数值，适用于单轴、双轴或三轴加速度传感器与类似器件。