四维光学调整装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN103913808B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201410113089.2

    申请日:2014-03-25

    IPC分类号: G02B7/00

    摘要: 本发明公开了一种四维光学调整装置,包括外环、中环、内环、中环调整螺钉和内环调整螺钉,三环通过中环调整螺钉和内环调整螺钉连为一体,外环为固定件,内环的内孔为光学元件安装孔,中环调整螺钉包括调节光学元件相对外环沿横向第一轴移动的中环移动螺钉和以横向第一轴为转轴倾斜的中环倾斜螺钉,内环调整螺钉包括调节光学元件相对外环沿横向第二轴移动的内环移动螺钉和以横向第二轴为转轴倾斜的内环倾斜螺钉,横向第一轴和横向第二轴相垂直。上述装置的使用方法:先调整三环同轴线并安装光学元件,再调整光学元件,调整时螺钉成对使用,并保持与相应斜面凸台或凹坑接触。本发明结构简单紧凑、通光口径大、四维调整相互解耦且调整方便快捷。

    一种基于面形误差斜率的确定性修形加工方法

    公开(公告)号:CN104890131A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510255832.2

    申请日:2015-05-19

    IPC分类号: B28D5/00

    CPC分类号: B28D5/00

    摘要: 本发明公开了一种基于面形误差斜率的确定性修形加工方法,步骤包括:1)输入待加工光学零件的面形误差斜率和高度去除函数;2)将高度去除函数转换为斜率去除函数;3)根据斜率去除函数、面形误差斜率和确定性修形加工控制所需的驻留时间函数之间的卷积关系,利用反卷积计算方法计算出所述驻留时间函数;4)基于计算出的驻留时间函数对待加工光学零件的表面进行确定性修形加工。本发明直接使用测量得到的面形误差斜率数据计算加工控制所必须的驻留时间,不需要将面形误差斜率转换为面形误差高度,从而避免了面形误差斜率转换到面形误差高度引入的转换误差,有利于提高加工过程的确定性和提高加工精度。

    一种基于单测头误差分离的超精密直线度测量方法

    公开(公告)号:CN104296716A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410533360.8

    申请日:2014-10-11

    IPC分类号: G01B21/24

    CPC分类号: G01B21/24

    摘要: 本发明公开了一种基于单测头误差分离的超精密直线度测量方法,其实施步骤如下:将被测工件安装在机床上,将扫描测头通过具有微位移结构的剪切平台安装在机床的运动机构上;在选定行程的起始位置开始,控制运动机构带动扫描测头限幅移动,每移动到一个检测位置则通过剪切平台驱动扫描测头进行微位移,采集微位移过程中至少两个位置的距离检测数据,直至完成被测工件选定行程上所有检测位置的数据采集,采用预设的误差分离算法将各个检测位置采集的距离检测数据进行误差分离得到直线度测量结果。本发明具有测量精度高、扫描范围大、量程大、测量方便快捷、可抑制环境低频振动影响和消除测头调零误差、间距误差、特性差异和热漂移等影响的优点。

    粘弹性材料在超精密车削悬臂类光学零件中的应用

    公开(公告)号:CN102837006B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201210322222.6

    申请日:2012-09-04

    IPC分类号: B23B1/00

    摘要: 本发明公开了一种粘弹性材料在超精密车削悬臂类光学零件中作为夹具的柔性支撑结构的应用。该粘弹性材料特别是指在不同频率力的作用下具有不同的力学特性的材料。例如,当悬臂类光学零件装夹到夹具或者从夹具上卸载时,粘弹性材料表现出流动性;当悬臂类光学零件处于装夹后的车削加工过程中时,粘弹性材料会表现出固体性。本发明的应用不仅操作简单、使用方便快捷,而且能充分保证光学零件加工的高精度和高效率。

    四维光学调整装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN103913808A

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201410113089.2

    申请日:2014-03-25

    IPC分类号: G02B7/00

    摘要: 本发明公开了一种四维光学调整装置,包括外环、中环、内环、中环调整螺钉和内环调整螺钉,三环通过中环调整螺钉和内环调整螺钉连为一体,外环为固定件,内环的内孔为光学元件安装孔,中环调整螺钉包括调节光学元件相对外环沿横向第一轴移动的中环移动螺钉和以横向第一轴为转轴倾斜的中环倾斜螺钉,内环调整螺钉包括调节光学元件相对外环沿横向第二轴移动的内环移动螺钉和以横向第二轴为转轴倾斜的内环倾斜螺钉,横向第一轴和横向第二轴相垂直。上述装置的使用方法:先调整三环同轴线并安装光学元件,再调整光学元件,调整时螺钉成对使用,并保持与相应斜面凸台或凹坑接触。本发明结构简单紧凑、通光口径大、四维调整相互解耦且调整方便快捷。

    一种基于多传感器扫描的超精密测量方法

    公开(公告)号:CN103471530A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310445029.6

    申请日:2013-09-26

    IPC分类号: G01B11/27

    摘要: 一种基于多传感器扫描的超精密测量方法,为:构造两组不同间距的传感器,均利用逐次两点法精确重构出一组直线度轮廓,并确定这两组直线度轮廓间隔的大小,使之能够在前一组曲线和后一组曲线中找到相同的采样点;如果一组曲线中的某条曲线和另一组曲线中的某条曲线至少有两个相同采样点,据此计算出这两条曲线之间的相对平移量和倾斜量,确定这两条曲线之间的位置关系;在第一组曲线中分别确定其与第二组曲线中某一条曲线的相互位置关系,则确定了第一组曲线的相互位置关系,从而在所有采样点上精确重构出被测表面直线度轮廓。本发明测量精度高、测量速度快、可消除传感器系统误差和扫描平台直线度误差。