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公开(公告)号：CN110132445B
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201910260398.5
申请日：2019-04-02
Applicant: 上海交通大学
Inventor： 刘景全 , 林祖德
IPC: G01K7/22 , C04B41/50
Abstract: 本发明提供一种负温度系数电阻型深低温温度传感器及制备方法，其中传感器的温度敏感膜为氮氧化铪薄膜，氮氧化铪薄膜的薄膜生长过程，通过调节反应氮氧混合气体的流量得到不同的氮氧元素比例，获得不同性能的氮氧化铪薄膜，得到氮氧化铪薄膜之后通过MEMS微加工工艺得到微型氮氧化铪深低温传感器。
