放电表面处理方法及放电表面处理装置

    公开(公告)号:CN101098987A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200580046480.4

    申请日:2005-11-25

    CPC classification number: C23C26/02 B23H9/008 B23H9/10

    Abstract: 本发明得到一种进行致密而较厚的覆盖膜的形成处理的放电表面处理方法及放电表面处理装置。如果由第1电源(23)在放电电极(21)和工件(22)的极间施加电压而产生放电,则以叠加在第1电源(23)产生的第1放电电流上的方式,由第2电源(28)在极间短期间地施加使电流值高于该第1放电电流的第2放电电流流过的电压。由此,在极间流过具有至少大于或等于40A/μs的上升速度的高电流值短脉冲宽度的放电脉冲电流。其结果,在短期间内,只熔融电极材料的必要部分,因为能够在利用放电的热能向工件侧移动的电极材料或化合了该电极材料的物质中,大比例地含有该熔融的电极材料,所以可以在工件表面形成由熔融的金属形成的覆盖膜。

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