用于测量表面处理设备中的处理流体的至少一个参数的装置和方法

    公开(公告)号:CN109073600A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780027133.X

    申请日:2017-04-06

    Abstract: 一种用于测量表面处理设备(10)中的处理流体(16)的至少一个参数的装置(30),所述装置具有声表面波测量装置(68),该声表面波测量装置具有:测量室(32),该测量室限定用于处理流体(16)的测量体积;以及用于声表面波的转换器(60,62,64,66),该转换器被布置在测量室(32)上,所述声表面波测量装置被设计为用于,在应用转换器(60,62,64,66)的情况下提供至少一个测量输出信号(MS),所述至少一个测量输出信号依赖于测量体积中的处理流体(16)的当前的状态。该装置还具有分析单元(50),该分析单元具有:时间曲线记录装置(74),其被设计为用于,记录声表面波测量装置(68)的至少一个测量输出信号(MS)的时间曲线;和参数确定装置(76),其被设计为用于,从声表面波测量装置(68)的测量输出信号(MS)的记录的时间曲线(100)中确定至少一个要测量的参数的值。

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