公开(公告)号：CN110231086A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910150146.7

申请日：2019-02-28

Applicant: VEGA格里沙贝两合公司

Inventor： 多米尼克·费伦巴赫 ,  福尔克·奥尔盖耶

IPC: G01H11/08

Abstract: 一种用于振动传感器(100)的压电收发器(1)，所述压电收发器(1)作为具有驱动装置座(3)的独立处理单元被实施，所述驱动装置座(3)包括用于将所述压电收发器(1)连接到所述振动传感器(100)的机械振动单元(7)的机械连接部(5)。

公开(公告)号：CN107990973A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201710998463.5

申请日：2017-10-20

Applicant: VEGA格里沙贝两合公司

Inventor： 多米尼克·费伦巴赫 ,  福尔克·奥尔盖耶

IPC: G01H11/08 ,  G01K7/34

CPC classification number: H01L41/042 ,  G01H11/08 ,  G01K7/34 ,  H01L41/1132

Abstract: 本发明涉及一种具有集成的温度测量的振动传感器，该振动传感器具有能够振动的薄膜以及用于使所述薄膜振动并用于测量所述薄膜的振动的压电驱动器，驱动器具有机械地串联连接的至少两个压电元件，其中至少一个第一压电元件由第一压电材料形成且至少一个第二压电元件由第二压电材料形成，并且通过检测至少一个压电元件的电容来确定温度。

公开(公告)号：CN107631794A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201710560356.4

申请日：2017-07-11

Applicant: VEGA格里沙贝两合公司

Inventor： 福尔克·奥尔盖耶 ,  多米尼克·费伦巴赫

IPC: G01H17/00

CPC classification number: G01H3/04 ,  B06B1/02 ,  G01F23/296 ,  G01H3/00 ,  G01H11/06 ,  G01H17/00 ,  G10K9/22 ,  G10K11/002 ,  G10K11/24

Abstract: 本发明涉及一种振动传感器(1)，该振动传感器具有能通过驱动装置(3)激励出振动的薄膜(5)和布置在薄膜(5)上的机械振动器(7)，其中，该机械振动器包括具有至少一个封闭的内部空间(11)的外罩(9)。