公开(公告)号：CN105555820A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480051789.1

申请日：2014-09-11

Applicant: DIC株式会社

Inventor： 今田知之 ,  佐藤勇介

IPC: C08G8/28 ,  G03F7/039

CPC classification number: C08G8/28 ,  C08G8/36 ,  C08L61/14 ,  C09D161/14 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0758

Abstract: 本发明的目的在于提供光灵敏度、分辨率、碱显影性高且耐热性、耐吸湿性也优异的、适于感光性组合物和抗蚀材料的改性羟基萘酚醛清漆树脂，提供一种改性羟基萘酚醛清漆树脂，其以下述结构式(1)所示的结构部位(I)(式中，R1为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，m为1或2。R2各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者。)作为重复单元，树脂中存在的R1中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基。