一种薄膜型磁芯
    22.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221708491U

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202323645081.4

    申请日:2023-12-29

    Abstract: 本实用新型涉及一种薄膜型磁芯,属于集成电路的平面电感技术领域。所述薄膜型磁芯包括基体层、电介质薄膜层和绝缘保护层,所述电介质薄膜层位于所述基体层和绝缘保护层之间;在所述电介质薄膜层远离所述基体层一侧开设有多个沟槽,在所述沟槽内嵌设有软磁材料,且所述软磁材料的上表面与所述电介质薄膜层上表面在同一平面内。所得薄膜型磁芯具有较高的综合性能,如高铁磁共振频率在4.0GHz以上,各向异性在450Oe以上,将其用在电感器件中,具有较高的电感密度和品质因数。

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