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公开(公告)号：CN101738355A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910219368.6
申请日：2009-12-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开一种用于粘度传感器的基于MEMS技术的硅微悬臂梁式芯片及其制备方法，芯片结构为基于振动原理的三角形硅微悬臂梁结构，采用钛-铂-金梁式引线技术；本发明有很快的频率响应特性和极高的灵敏度，该MEMS粘度传感器测量范围为1mPa·s～100mPa·s、精度优于±5％FS，可以实现在静压值小于100MPa、环境温度-20℃～180℃下快速、在线、小样品量、准确地测量。
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