公开(公告)号：CN103827672A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201280047161.5

申请日：2012-08-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.法伊

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01L9/00

Abstract: 本发明涉及一种具有可移动的栅的微机械的传感器装置和一种相应的制造方法。具有可移动的栅的传感器装置包括具有可移动的栅(7)的场效应晶体管(2)，可移动的栅通过空腔(11)与信道区(K)分开，其中，信道区(K)用栅隔离层(3)覆盖。

公开(公告)号：CN103543293A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310288330.0

申请日：2013-07-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.布曼 ,  F.亨里西 ,  A.法伊

IPC: G01P21/00 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P21/00

Abstract: 本发明公开了用于传感器的、尤其是具有运动栅电极的加速度传感器的一种校正装置，具有至少一个电流测量装置，具有可调电压源，该电压源与该传感器的传感器元件电气耦合，具有控制装置，该控制装置被构造用于调节该电压源，使得在该传感器元件上的电压具有至少三个不同的电压值，其中该电流测量装置被构造用于在借助该可调电压源所调节的每个电压时测量流过该传感器元件的测量电流和/或相应传感器元件的基本电流；以及具有补偿装置，该补偿装置被构造用于基于所测量的电流和对应调节的电压来确定该传感器的敏感性和/或偏移，并对应于所确定的敏感性和/或所确定的偏移来匹配该传感器的输出信号。本发明还公开了一种传感器和一种方法。