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公开(公告)号：CN108701597A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081330.5
申请日：2016-12-08
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L23/00
CPC classification number: H01L23/00
Abstract: 本发明的保护膜形成用复合片具备支撑片、在所述支撑片的一个表面上具备保护膜形成用膜、且在所述支撑片的与具有所述保护膜形成用膜的一侧相反侧的表面上具备涂敷层而成，其中，所述涂敷层的与所述支撑片相接触的一侧相反侧的表面的表面粗糙度Ra小于所述支撑片的具备涂敷层的一侧表面的表面粗糙度Ra。
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