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公开(公告)号:CN105576017B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201510939432.3
申请日:2015-12-15
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L29/423 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌薄膜的薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括半导体沟道层、栅绝缘层、源极、漏极和栅极。本发明的基于氧化锌薄膜的薄膜晶体管以氧化锌薄膜作为半导体沟道层,采用顶栅结构并采用双层的栅绝缘层,栅绝缘层中第一绝缘层作为氧化锌薄膜的保护层,能有效保护氧化锌薄膜不受环境和后续工艺的影响。通过多次氧气氛围下的快速退火,使得氧化锌薄膜的载流子浓度得到有效控制,进而使薄膜晶体管可以在接近0V的栅极偏压下实现关断,并对氧化锌薄膜进行去氢化处理,同时修复半导体沟道层和绝缘层的界面处缺陷,使得薄膜晶体管的电学稳定性得到极大提高。
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公开(公告)号:CN108376712A
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201810113409.2
申请日:2018-02-05
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/16 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管及其制备方法,该晶体管以碘化亚铜作为有源层,所述的碘化亚铜采用热蒸发法沉积,且在沉积后经惰性气体退火处理或水蒸气退火处理。所述的基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管采用顶栅结构,包括衬底、设于衬底上的源/漏电极、设于源漏电极间的有源层、设于有源层上并将有源区完全覆盖的保护层、顶栅、以及设置于顶栅与保护层之间的绝缘层,该绝缘层完全覆盖保护层。本发明的器件及方法操作复杂度低,且薄膜质量高,很好的解决了传统方法难以两全的尴尬,适用于大范围的工业生产。
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公开(公告)号:CN107293581A
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201710368636.5
申请日:2017-05-22
Applicant: 浙江大学 , 杭州雷赛微科技有限公司
IPC: H01L29/417 , H01L21/336 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管及制造方法与应用方法,其中薄膜晶体管包括带悬空绝缘材料薄膜的基底、导电材料源区、导电材料漏区以及半导体材料沟道。本发明通过利用导电材料作为源区和漏区材料,省去了对源区和漏区的高精度掺杂。将薄膜晶体管放入生物分子、离子或纳米颗粒的离子溶液中时,可实现对待检测物质的电学特性检测。本发明的薄膜晶体管的稳定性好、检测精准度高,制造工艺较为简单。
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公开(公告)号:CN107066920A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611206978.9
申请日:2016-12-23
Applicant: 浙江大学 , 杭州雷赛微科技有限公司
IPC: G06K9/00
CPC classification number: G06K9/0002
Abstract: 本发明公开了一种指纹识别面板及装置,其中面板具有两层结构,一层为透明指纹感测阵列,另一层为透明信号处理电路;透明指纹感测阵列和透明信号处理电路之间设置有透明绝缘薄膜,透明绝缘薄膜上设置有通孔,透明指纹感测阵列和透明信号处理电路之间通过通孔连接;透明指纹感测阵列包括多个透明导电面板;工作时,透明导电面板响应于外部的手指感应形成电容,透明信号处理电路通过通孔对透明导电面板进行充电,并在充电结束后获取电容所存储的电压值进行输出。本发明提供的指纹识别面板及装置,减少了信号在传输的过程中的损耗,消除了线寄生电容以及耦合电容对识别出来的信号的干扰,提高了指纹识别的精度。
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公开(公告)号:CN119405323A
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202411660197.1
申请日:2024-11-20
Applicant: 浙江大学金华研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于ZnO薄膜晶体管的植入式脊髓神经信号采集电极阵列。信号采集电极阵列的柔性电路板包含ZnO层,各个电极模块阵列排布在柔性电路板上,各个第一导线沿柔性电路板的长度方向间隔布置并电连接相邻的各个电极模块,各个第二导线沿柔性电路板的宽度方向间隔布置并电连接相邻的各个电极模块,各个第一导线依次传输脉冲信号后按顺序导通相邻的电极模块,各个第二导线输出所采集的脊髓的神经肌电信号。本发明的电极阵列可以使得分布在脊髓周围的电极周向分布最大化,同时使串扰污染最小化,有效减少噪声。阵列电极的设计既可以高密度采集脊髓信号,又可以实现信号的就地放大,减少微弱信号在传输过程中所受到的噪声干扰。
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公开(公告)号:CN119402041A
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202411962999.8
申请日:2024-12-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种自定义协议的宽频段RFID通信设备,属于射频识别领域。所述设备设计在1块电路板上,包括2个发射信号链、2个接收信号链和4个低压差稳压电源,覆盖频段0‑3 GHz,包含低频、高频、超高频、微波4个主流RFID工作频段。发射链采用分立器件进行开关混频,载波频率、数据传输速率、编码方式可通过控制器修改,以支持自定义通信协议;接收链采用包络检波获取数据,可设置比较器电路的电平阈值进行波形整形,接收数据通过控制器进行解码或者传输至上位机。本发明为面向自定义通信协议的新型RFID标签的收发通信设备,有别于基于标准RFID协议射频芯片设计的RFID读写器,具有较大工程价值。
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公开(公告)号:CN118642256A
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202410639867.5
申请日:2024-05-22
Applicant: 浙江大学 , 中国航天科工飞航技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于非球面和弯曲像面的大视场高分辨率仿生眼球光学系统。所述系统包括沿入射光轴依次设置的透镜前表面、圆形光阑及透镜后表面,所述透镜前表面为具有正曲率半径的非球面,用于对入射光进行折射;所述透镜后表面为具有负曲率半径的非球面,用于成像;所述圆形光阑位于透镜前表面和透镜后表面之间,用于限制光线传播方向,从而减小像差;所述透镜后表面上设有曲面图像传感器,用于探测图像。透镜前后表面配合,使透镜前表面不同位置处入射光线的像方焦点均落在透镜后表面,从而在透镜后表面表清晰成像。本发明系统可实现170°视场角内清晰成像,并给出系统制作方法,进一步设计实现焦距和孔径光阑大小可变,能作为仿生眼球使用。
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公开(公告)号:CN117906771A
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202311836920.2
申请日:2023-12-28
Applicant: 浙江大学 , 中国航天科工飞航技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种高温非硅基测温集成电路,该电路基于金属氧化物薄膜晶体管的温度与其阈值电压的关系实现,利用薄膜晶体管在一定源漏电压下,输出电流对电容进行充电至一定电压,不同温度对应不同阈值电压则对应不同输出电流从而对应不同充电时间,通过检测电容充电时间实现测得温度。电路包含温度传感模块、ADC模块及自动复位模块;温度传感模块包括氧化锌薄膜晶体管、电容、电容充电开关、电容放电开关,ADC模块包括多级反相器级联单元、计数器单元、并串转换单元及曼彻斯特编码单元。该电路得最高测量温度范围可达‑50℃—250℃,且电路具有自动复位功能,可自主循环测量温度,采用多级反相器级联整形,简化了电路,降低了功耗。
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公开(公告)号:CN117815540A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202311804915.3
申请日:2023-12-26
Applicant: 浙江大学金华研究院
Abstract: 本发明公开了一种植入式脊髓硬膜电极。电极的可降解衬底和不可降解柔性衬底的一端相互连接,可降解电极分布在可降解衬底的另一端侧面,可降解导线分布在可降解衬底上且连接可降解电极,不可降解导线分布在不可降解柔性衬底上且连接可降解导线,接口分布在不可降解柔性衬底的另一端侧面且连接不可降解导线,可降解绝缘层和不可降解绝缘层分别覆盖在可降解导线和不可降解导线上且相互连接。本发明采用电极阵列的设计,具有触点多,精度高的优势,电极结构采用空心结构,以确保电极能够与脊髓充分贴合。电极端采用可降解材料,以规避二次手术取出可能带来的潜在风险,电气连接段选用不可降解材料,以确保信号传输的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号:CN115266876A
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN202210713074.4
申请日:2022-06-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯‑MoS2异质结纳米孔生物传感器结构及其制备方法,所述结构包括氮化硅薄膜层、石墨烯薄膜层和MoS2薄膜层;氮化硅薄膜层部分悬空,悬空部分设置有微米级孔状结构;石墨烯薄膜层设置于氮化硅薄膜层上表面,覆盖所述的微米级孔状结构;MoS2薄膜层设置于石墨烯薄膜层上表面,与石墨烯薄膜层构成上下堆叠结构的异质结;石墨烯薄膜层和MoS2薄膜层设置有纳米孔,纳米孔位于微米级孔状结构区域范围内。本发明在保证较高空间分辨率的前提下,实现对被测蛋白质分子的过孔速度减慢的效应,过孔时间减慢至100ms以上。与其他方法相比,器件结构的复杂度没有明显增加,未引入更多噪声,被测分子的过孔难度没有明显增加。
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