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公开(公告)号:CN101151701A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200680009516.6
申请日:2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备,具有一个电弧蒸发源(5),所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`),还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18、20)。这两个电极(5`、3、18、20)都与一个脉冲电源(16)连接地运行。
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公开(公告)号:CN103189541B
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201180026378.3
申请日:2011-03-18
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
Inventor: J·拉姆
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/081 , C23C14/085 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及一种涂层,其包含至少一种由氧和/或氮与至少两种金属材料组成的化合物,其中该化合物至少部分以尖晶石结构存在,本发明还涉及一种用于涂敷的方法和经涂敷的基底。
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公开(公告)号:CN101842868B
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN200780101402.9
申请日:2007-11-01
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: H01J37/32
CPC classification number: C23C14/54 , C23C14/0036 , C23C14/228 , C23C14/35 , C23C14/351 , H01J37/32009 , H01J37/32055 , H01J37/32477 , H01J37/32541
Abstract: 当借助于阳极(9)与阴极(7)之间的真空等离子体放电处理工件或基底表面并由此由于这种处理固体(19)在阳极表面(21)上形成并沉积时,该固体的DC比阻抗高于阳极材料的DC比阻抗,至少部分阳极表面通过在那里建立屏蔽等离子体(25)而屏蔽于这种沉积。
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公开(公告)号:CN102016108A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200980114303.3
申请日:2009-02-06
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
Inventor: J·拉姆
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F2998/00 , C22C1/0416 , C23C14/0036 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , Y10T428/12028 , B22F3/15
Abstract: 本发明涉及一种制造由金属和半金属组分的三元和更高价氧化物构成的层的方法,其中这些氧化物的形成温度基本上通过二元(或更高阶)合金靶的组成(基于相图)确定。
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公开(公告)号:CN103748655A
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201280018132.6
申请日:2012-03-26
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32055 , C23C14/325 , H01J37/32064 , H05B7/148 , H05B7/20 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明涉及一种用于运行脉冲断续火花放电的方法。火花通过电容器来馈电。在脉冲之间有断开的时间间隔,在断开的时间间隔期间没有火花电流流动。在脉冲之内,即在接通的时间间隔期间在达到电流阈值时电荷输送被停止并且重新开动,使得在脉冲之内出现子脉冲。按照本发明,时间间隔和子脉冲被选择,使得在重新接通电容器时火花放电没有困难地重新点燃。
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公开(公告)号:CN101743338B
公开(公告)日:2013-10-16
申请号:CN200880017482.4
申请日:2008-04-22
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3255 , C23C14/325 , C23C16/0245 , C23C16/503 , H01J37/32055
Abstract: 本发明涉及真空处理设备和真空处理方法,用于执行等离子体法,在真空室(1)中进行处理,真空室内设有用于产生低压弧光放电(15)(NVBE)的、包括阴极(10)和可通过电弧发生器与阴极电连接的阳极(13)的装置、可与偏压发生器(16)电连接且用于容放和移动工件(2)的工件支架(7)、以及至少一个用于惰性气体和/或反应气体的供应管路(8),其中,阳极表面的至少一部分由石墨制成并且在高温下工作。
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公开(公告)号:CN101720365A
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200880016247.5
申请日:2008-05-05
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C30/005 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/321 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/341 , C23C28/345 , C23C28/3455 , C23C28/347 , C23C28/36 , Y10T407/27 , Y10T428/24942 , Y10T428/24983 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供了带有单层或多层PVD涂层的尖锐切削刃切削工具,其可以同时表现出令人满意的磨损和热化学抗性以及对刃口剥落的抗性。切削工具包括由烧结碳化物、CBN、金属陶瓷或陶瓷材料制成的烧结体,其具有刃口半径为Re的切削刃、侧刀面和前刀面、以及覆盖至少部分烧结体表面的多层涂层,所述多层涂层由包含至少一层氧化PVD层的PVD涂层构成。在一个实施方案中,刃口半径Re小于40μm,优选小于或等于30μm。所覆盖的部分表面优选包含烧结体的尖锐切削刃的至少某些部分。
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公开(公告)号:CN101263575A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200680009506.2
申请日:2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法,其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电,其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源,其中靶与供电单元连接,该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18,18’以及另一个电源13’,18”,或者是用开关网络分配技术实施的电源21,21’,22。
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公开(公告)号:CN102016108B
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN200980114303.3
申请日:2009-02-06
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
Inventor: J·拉姆
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F2998/00 , C22C1/0416 , C23C14/0036 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , Y10T428/12028 , B22F3/15
Abstract: 本发明涉及一种制造由金属和半金属组分的三元和更高价氧化物构成的层的方法,其中这些氧化物的形成温度基本上通过二元(或更高阶)合金靶的组成(基于相图)确定。
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公开(公告)号:CN104350172A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201380021348.2
申请日:2013-04-22
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C09D1/00 , C09D5/084 , C10M103/06 , C10M2201/0863 , C10M2201/1006 , C23C14/0021 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083
Abstract: 本发明涉及一种借助于PVD涂覆工艺涂覆Al-Cr-O涂层的方法。借助于掺杂Si的含Al和Cr的靶进行PVD涂覆工艺。Si的掺杂防止反应性涂覆工艺过程中在靶上形成氧化物岛。
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