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公开(公告)号：CN109465252A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201910026271.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超声辅助激光水下清洗装置和方法，清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，工件放置于水箱内的水下，平场聚焦透镜设于水面上方；工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，水箱放置于平台上；超声能量模块包括超声换能器，超声换能器附着于水箱上；其激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，振镜对应于多边形扫描反射镜设置；振镜将入射激光束向多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束向平场聚焦透镜反射，平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。本发明提高了清洗效率和效果，增加了工件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN108480842A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810600995.3
申请日：2018-06-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种水导激光耦合分流稳压装置，包括分流稳压腔室，所述分流稳压腔室包括侧部的至少一个进水口和底部的水束光纤出口以及顶部与水束光纤出口同心的激光照射口，所述激光照射口上安装有激光镜片，分流稳压腔室内部设有水流通道连通进水口和水束光纤出口，所述水流通道自外而内于不同径向圆周上通过不断增多的内分水口将水流不断分流后均布汇流于水束光纤出口，第一径向圆周上的内分水口为2个，第二径向圆周上的内分水口为4个，第三径向圆周上的内分水口为8个，第四径向圆周上的内分水口为16个……以此类推。本发明经过内部分流稳压腔体将进水口的水流进行分流与合流，从而达到从水束光纤出口喷出的水束流速稳定、水压均衡的目的。
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公开(公告)号：CN211102144U
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201922041961.8
申请日：2019-11-22
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光柔性化微加工系统，包括光纤传输耦合单元、工作台单元和高压供液单元，光纤传输耦合单元包括光纤固定转接模块和光束耦合传输模块，光束耦合传输模块包括耦合体、上压头和下喷嘴座，光纤固定转接模块将柔性光纤的端头定中于上压头与下喷嘴座之间的液层腔，耦合体上的入水口连通液层腔，于下喷嘴座上设有喷嘴块，喷嘴块上的喷孔与下喷嘴座上的喷口连通；耦合体夹持在机器人的机械手上；高压供液单元输出的无级调压高压水经入水口汇集于液层腔形成低压稳流水；工作台单元包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上。本实用新型结构简单、紧凑和灵活，可实现工件多维度柔性化微加工。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209406997U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201920050160.5
申请日：2019-01-11
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声辅助激光水下清洗装置，清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，工件放置于水箱内的水下，平场聚焦透镜设于水面上方；工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，水箱放置于平台上；超声能量模块包括超声换能器，超声换能器附着于水箱上；其激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，振镜对应于多边形扫描反射镜设置；振镜将入射激光束向多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束向平场聚焦透镜反射，平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。本实用新型提高了清洗效率和效果，增加了工件的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208322422U
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201820936246.3
申请日：2018-06-13
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/122 , B23K26/16 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水下超声辅助激光加工装置，包括设于超声振动机构上的加工水槽以及设于加工水槽内的夹具，所述加工水槽一侧面上设有进水口，另一相对的侧面上设有出水口，所述出水口上设有可上、下调节加工水槽溢流高度的挡水板，所述加工水槽的溢流高度大于工件于夹具上的装夹高度；所述超声振动机构包括振动板和换能器，所述振动板安装于振簧组件上，所述振簧组件通过振动底座安装于阻水槽内，所述阻水槽设于集水槽内，所述换能器安装于振动板的底部。本实用新型既可以做流动水层加工实验，还可以做静水层加工实验，水层厚度调节方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209349685U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822227155.5
申请日：2018-12-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/04 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光加工装置，其光束传输耦合单元包括激光头和相连的旋转套筒、入水腔体、中间腔体、耦合块，激光头上部同轴旋合于旋转套筒，激光头下部置于入水腔体和中间腔体内并对应于耦合块上开设的液层腔，激光头下部内的光束变换腔底部设有自聚焦透镜和球透镜，球透镜通过液层腔与耦合块上开设的喷嘴相对；其高压供液单元输出的高压水经入水腔体、中间腔体和耦合块三级分流后汇集于液层腔形成低压稳流水；其工作台单元设于喷嘴下方，包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上，水槽通过回流管连通高压供液模块。本实用新型提高了光束的传输稳定性，降低了聚焦光束耦合水束光纤调节的难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208390517U
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201820517464.3
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型为一种射流激光复合清洗系统，本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211915510U
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202020271239.3
申请日：2020-03-06
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种磁场激励激光增材装置，包括底板、激光头和送粉头，激光头和送粉头与计算机控制系统连接，送粉头的喷粉端点和激光头的激光束聚焦点沿计算机控制系统设定的加工路径在底板上移动，底板通过浮动机构安装于工作台上并置于匀强磁场内，匀强磁场的磁力线垂直穿透底板，底板为导电薄板，导电薄板的前、后端或左、右端分别与交流电的两极端连接，匀强磁场激励载流底板上、下振动。本实用新型在激光增材成型过程中，磁场激励载流的底板振动，搅动成型材料的内部组织，在一定程度上细化晶粒、改善组织均匀性、减小应力集中、提高材料成型的力学性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210010591U
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201920804146.X
申请日：2019-05-30
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本实用新型公开了一种实现大深径比加工的激光头装置，包括光束传输变换机构，光束传输变换机构将激光器发出的激光束转换为作用在工件表面上的无衍射聚焦光束，光束传输变换机构包括扩束组件和轴锥镜组合模块；一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的正轴锥镜Ⅰ和单筒望远镜；另一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的正轴锥镜Ⅰ和参数一致且镜像对称的正轴锥镜Ⅱ与正轴锥镜Ⅲ；再一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的负轴锥镜和参数一致且镜像对称的正轴锥镜Ⅳ和正轴锥镜Ⅴ。本实用新型利用轴锥镜组合模块来生成具有一定工作距离的无衍射聚焦光束，利用无衍射聚焦光束的特性，提高聚焦光束的质量，获得较小的聚焦中心光斑及更长的准直区。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209986397U
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201920752523.X
申请日：2019-05-23
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/354 , B23K26/356
Abstract: 本实用新型公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定夹具安装于CNC数控平台上，靶材安装于变幅杆上；激光作用时间调节装置包括调速器控制转速的挡光转盘，挡光转盘上圆周均布开设有调节激光通过比的透光口，挡光转盘由升降机构和左右移动机构调节其在透镜与靶材之间的位置。本实用新型利用激光熔凝淬火原理提高靶材表面的表面性能，将靶材固定在超声波变幅杆上，加快靶材表面的对流换热，增强冷却效果，抛出熔渣、均匀化加工区域和细化晶粒的作用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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