衍射导光板和制造衍射导光板的方法

    公开(公告)号:CN111065942B

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN201880054388.X

    申请日:2018-10-23

    Abstract: 本发明的示例性实施方案提供了衍射导光板,包括:第一衍射基底;和设置在第一衍射基底上的第二衍射基底,其中第一衍射基底包括在一个表面上的第一衍射光栅层和在另一表面上的第二衍射光栅层,第二衍射基底包括在一个表面上的第三衍射光栅层和在另一表面上的应力补偿层,第一衍射光栅层分离波长为550nm或更大且700nm或更小的光,第二衍射光栅层分离波长为400nm或更大且550nm或更小的光,第三衍射光栅层分离波长为450nm或更大且650nm或更小的光,以及应力补偿层在与第三衍射光栅层的应力方向相同的方向上具有应力。

    制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法和制造衍射光栅导光板的方法

    公开(公告)号:CN111033117A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880052164.5

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明涉及制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法,该方法包括以下步骤:准备在其上表面上设置有薄层电阻为0.5Ω/□或更大的网格部分的法拉第笼;将样品基板设置在法拉第笼的底表面上并在其上进行平面等离子体蚀刻以确定法拉第笼中的高蚀刻区域;准备具有倾斜表面的支撑体并将倾斜表面的下部区域布置在法拉第笼的高蚀刻区域中的支撑体布置步骤;将模具用基板设置在支撑体的倾斜表面上;以及通过使用等离子体蚀刻同时在模具用基板的一侧上形成第一倾斜图案部分并在模具用基板的另一侧上形成第二倾斜图案部分的图案化步骤,其中图案化步骤中的蚀刻速率自倾斜表面的上部区域至下部区域逐渐减小然后反转增大,并且包括第一倾斜图案部分的具有深度梯度的倾斜凹槽图案,以及第二倾斜图案部分包括深度偏差为0nm至50nm的倾斜凹槽图案。

    低折射层和包括其的抗反射膜

    公开(公告)号:CN107110996B

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201680006119.7

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 本发明涉及低折射层和包括其的抗反射膜。低折射层可以同时表现出优异的光学特性例如低反射率和高透光率以及优异的机械特性例如高耐磨性和耐刮擦性,并且不会不利地影响形成低折射层的聚合物树脂的颜色。特别地,由于优异的耐碱性,低折射层即使在碱处理之后也可以保持优异的物理特性。因此,当向显示装置引入低折射层时,预期可以简化生产过程,并且可以进一步显著提高生产速率和生产力。

    制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法和制造衍射光栅导光板的方法

    公开(公告)号:CN111033117B

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201880052164.5

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明涉及制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法,该方法包括以下步骤:准备在其上表面上设置有薄层电阻为0.5Ω/□或更大的网格部分的法拉第笼;将样品基板设置在法拉第笼的底表面上并在其上进行平面等离子体蚀刻以确定法拉第笼中的高蚀刻区域;准备具有倾斜表面的支撑体并将倾斜表面的下部区域布置在法拉第笼的高蚀刻区域中的支撑体布置步骤;将模具用基板设置在支撑体的倾斜表面上;以及通过使用等离子体蚀刻同时在模具用基板的一侧上形成第一倾斜图案部分并在模具用基板的另一侧上形成第二倾斜图案部分的图案化步骤,其中图案化步骤中的蚀刻速率自倾斜表面的上部区域至下部区域逐渐减小然后反转增大,并且包括第一倾斜图案部分的具有深度梯度的倾斜凹槽图案,以及第二倾斜图案部分包括深度偏差为0nm至50nm的倾斜凹槽图案。

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