公开(公告)号：CN113795355B

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN201980096123.0

申请日：2019-04-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B25J13/08

Abstract: 本发明提供一种驱动系统、终端效应器系统、终端效应器单元及配接器，可提升终端效应器的位置或姿势的控制精度。一种驱动系统，包括：终端效应器，可对工件进行作业；支撑部，在终端效应器可位移的状态下支撑所述终端效应器；第一驱动部，可经由支撑部而以第一冲程来驱动终端效应器；检测部，检测终端效应器的位置；以及第二驱动部，配置于支撑部与终端效应器之间，可基于由检测部所检测到的终端效应器的位置信息，以比第一冲程小的第二冲程，相对于支撑部来驱动终端效应器。

公开(公告)号：CN118635656A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410867490.9

申请日：2020-08-06

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提供一种加工装置以及系统，测量光对工件的照射被因加工光对工件的照射而产生的物质妨碍的可能性变低。加工装置是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工物体的加工装置，包括：合成光学系统，将来自加工光源的加工光的光路与来自测量光源的第一测量光的光路合成；照射光学系统，将经由合成光学系统的加工光及第一测量光照射至物体；位置变更装置，变更照射光学系统相对于物体的位置；拍摄装置，其位置与照射光学系统一起变更，拍摄物体；以及检测装置，经由照射光学系统及合成光学系统，来检测第二测量光，所述第二测量光通过经由照射光学系统照射至物体的第一测量光而自物体产生。

公开(公告)号：CN116133783A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202080104817.7

申请日：2020-07-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B23K26/02

Abstract: 一种加工系统，经由照射光学系统将加工光照射至物体以对物体进行加工，所述加工系统包括：照射装置，具有照射光学系统中的至少末端光学元件；移动装置，使照射装置移动；第一测量装置，配置于照射装置且测量物体的位置；第二测量装置，经由末端光学元件来测量物体的位置；以及第三测量装置，从离开照射装置的位置朝向照射装置照射测量光，检测测量光以测量照射装置的位置。

公开(公告)号：CN115485452A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202080100058.7

申请日：2020-04-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: F01D5/14

Abstract: 叶片(BL)是在流体中使用的叶片，包括：基材(BM)、以及形成在基材上的覆膜层(TBC)，在覆膜层的表面，形成有多个第一槽(9)与多个第二槽(7)，多个第一槽的间距(P9)与所述多个第二槽的间距(P7)不同。

公开(公告)号：CN114206538A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080056385.7

申请日：2020-08-06

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70

Abstract: 加工装置是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工物体的加工装置，包括：合成光学系统，将来自加工光源的加工光的光路与来自测量光源的第一测量光的光路合成；照射光学系统，将经由合成光学系统的加工光及第一测量光照射至物体；位置变更装置，变更照射光学系统相对于物体的位置；拍摄装置，其位置与照射光学系统一起变更，拍摄物体；以及检测装置，经由照射光学系统及合成光学系统，来检测第二测量光，所述第二测量光通过经由照射光学系统照射至物体的第一测量光而自物体产生。

公开(公告)号：CN113795355A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201980096123.0

申请日：2019-04-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B25J13/08

Abstract: 一种机器人系统，包括：终端效应器，可对工件进行作业；支撑部，在终端效应器可位移的状态下支撑所述终端效应器；第一驱动部，可经由支撑部而以第一冲程来驱动终端效应器；检测部，检测终端效应器的位置；以及第二驱动部，配置于支撑部与终端效应器之间，可基于由检测部所检测到的终端效应器的位置信息，以比第一冲程小的第二冲程，相对于支撑部来驱动终端效应器。

公开(公告)号：CN113727804A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201980095238.8

申请日：2019-04-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: B23K26/08

Abstract: 加工系统包括：可动构件，与物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向物体照射加工光；以及连接装置，以可动构件与照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接可动构件与照射装置，连接装置包括：驱动构件，使可动构件及照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将可动构件与照射装置予以结合。

公开(公告)号：CN105144342B

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201380073365.0

申请日：2013-12-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: H01L21/027

Abstract: 液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。

公开(公告)号：CN104838470B

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201380063011.8

申请日：2013-10-08

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: H01L21/027

Abstract: 一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。

公开(公告)号：CN105229774A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201380076727.1

申请日：2013-10-08

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 佐藤真路

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70341

Abstract: 液浸部件(4A)是在曝光装置(EX1)内形成供从光学部件(3)射出的曝光用光(EL)通过的液浸空间(LS)的液浸部件，具有：第1部件(41)，其配置在光学部件的周围的至少一部分上且包含与能够在光学部件的下方移动的物体(5、51、52、6、61)相对的第1下表面(4111)；以及能够移动的第2部件(42)，其包含相对于光学部件的光轴(AX)位于第1下表面的外侧并且与物体相对的第2下表面(4211)、和相对于光轴位于第2下表面的内侧并且至少一部分位于第1下表面的至少一部分的上方的第3下表面(4221)。