超声波换能器、超声波探头以及超声波换能器的制造方法

    公开(公告)号:CN103210665B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201280003673.1

    申请日:2012-01-27

    CPC classification number: B06B1/0629 B06B1/067 B32B38/0004 Y10T156/1082

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种能够避免非导电性的声匹配层的制造工序的繁琐并且确保电导通路径的超声波换能器及超声波探头。具备二维配置的多个压电体。各个压电体设有电极。并且具备具有电极侧的第一面、与作为第一面的相反侧的第二面的非导电性声匹配层,此外,具备在非导电性声匹配层的第二面侧配置的导电性声匹配层。此外,对导电性声匹配层具备配置在与非导电性声匹配层相反一侧的基板。形成有多个槽,在非导电性声匹配层的第一面与第二面之间,贯通非导电性声匹配层,并到达第一面侧的压电体的中途或该第二面侧的导电性声匹配层的中途。此外,电极与基板经由槽而电导通。

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