公开(公告)号：CN210189044U

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201921111633.4

申请日：2019-07-16

Applicant: 杭州电子科技大学 ,  浙江大学

Inventor： 史治港 ,  王文 ,  王瑞金 ,  徐振龙 ,  周茂瑛 ,  桑志谦 ,  居冰峰

IPC: B23Q1/25 ,  H02N2/02 ,  H02N15/00

Abstract: 本实用新型公开了采用磁悬浮式直线电机驱动的二维平台。现有磁悬浮纳米二维定位平台都是驱动力和悬浮力单独提供，并依靠导轨实现形约束来导向。本实用新型包括底部基座、X方向第一磁悬浮直线电机、X方向第二磁悬浮直线电机、中间连接台、Y方向第一磁悬浮直线电机、Y方向第二磁悬浮直线电机和Y向运动组件。本实用新型在单个方向上的两个磁悬浮直线电机对称倾斜放置，永磁阵列和线圈的作用力包括水平驱动力和电磁斥力，单一方向上两个电磁斥力在水平方向的分力相互抵消，可以进行力约束从而进行导向；悬浮力等于两个电磁斥力在竖直方向上的力之和，且重力和悬浮力结合实现力约束从而进行导向，避免使用导轨，降低了加工精度要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利