公开(公告)号：CN117795796A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202280054354.7

申请日：2022-07-25

Applicant: 斯坦雷电气株式会社

Inventor： 仓本大

IPC: H01S5/183 ,  H01S5/343

Abstract: 提供了一种能够稳定地发射特定偏振方向的光的垂直谐振器型发光元件。根据本发明的垂直谐振器型发光元件的特征在于具有：氮化镓基半导体基板；形成在该基板上的第一多层膜反射镜；半导体结构层，其包括形成在该第一多层膜反射镜上并具有第一导电类型的一个半导体层、形成在第一半导体层上的活性层以及形成在该活性层上并具有与第一导电类型相反的第二导电类型的第二半导体层；第二多层膜反射镜，其形成在半导体结构层上并与第一多层膜反射镜一起形成谐振器；电流限制结构，其形成在第一多层膜反射镜与第二多层膜反射镜之间，并将电流会聚到活性层的一个区域。垂直谐振器型发光元件的特征还在于，在从体基板顶面法线方向观察时，在与所述一个区域重叠的区域中形成有包括彼此平行的多个狭缝结构的衍射光栅。

公开(公告)号：CN113491045A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202080015818.4

申请日：2020-01-20

Applicant: 斯坦雷电气株式会社

Inventor： 仓本大 ,  小林静一郎

IPC: H01S5/183

Abstract: 一种垂直腔面发光器件包括：基板、第一多层膜反射镜、发光结构层和第二多层膜反射镜。第一多层膜反射镜形成在基板上。发光结构层形成在第一多层膜反射镜上。发光结构层包括发光层。第二多层膜反射镜形成在发光结构层上。第二多层薄膜反射镜构成第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜之间的共振器。第二多层膜反射镜包括第一多层膜、中间膜和第二多层膜。第一多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由折射率高于低折射率材料的折射率的高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。中间膜覆盖第一多层膜的上表面。中间膜对从发光层发射的光具有透光性。第二多层膜被形成为部分覆盖中间膜的上表面。第二多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。中间膜的膜厚度基于从发光层发射的光在中间膜内的波长的1/2。