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公开(公告)号：CN116356252A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310424015.X
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法，其具备：准备金属板的工序，该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面；以及加工工序，在上述金属板上形成两个以上的贯通孔，上述加工工序包含：第1面蚀刻工序，通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部；利用树脂覆盖上述第1凹部的工序；第2面蚀刻工序，通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部；以及除去上述树脂的工序，上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。
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公开(公告)号：CN111188007B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202010069368.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法。一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，长侧面具有第1部分，第1部分包括：第1端部，其位于第1面侧；和第2端部，其位于第2面侧，且位于比第1端部靠内侧的位置，并且第1部分向内侧凹陷，第1端部与第1面和长侧面相连接的第1连接部一致，第1连接部位于与第1面相同的平面上。
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公开(公告)号：CN113684445A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111001437.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN112626451A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011072285.1
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供用于制造蒸镀掩模的金属板、金属板的制造方法、蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法。一种用于制造蒸镀掩模的金属板，该金属板具备第1面和位于第1面的相反侧的第2面，并且包含铁和镍，该金属板可以具有包含除铁和镍以外的元素作为主要成分的颗粒。在包括金属板的第1面和第2面的样品中，可以满足下述条件(1)、(2)。(1)每1mm3体积的样品中所包含的具有1μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以上3000个以下。(2)每1mm3体积的样品中所包含的具有3μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111455312A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201911106045.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , C22C38/10 , C22C38/08 , C21D1/26 , C21D8/02 , C21D9/00 , C21D1/74 , C23F1/02 , C23F1/28
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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公开(公告)号：CN107916396B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710897048.0
申请日：2017-09-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 蒸镀掩模的制造方法、中间产品和蒸镀掩模。制造可抑制长边变形的蒸镀掩模。蒸镀掩模的制造方法具备：准备金属板的工序；加工工序，将金属板加工成中间产品，该中间产品具备：多个蒸镀掩模部分，它们包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕多个蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于多个蒸镀掩模部分的短边；以及分离工序，将蒸镀掩模部分从支承部分分离而得到蒸镀掩模。在中间产品中，蒸镀掩模部分的长边未与支持部分连接。
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公开(公告)号：CN207918940U
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201820059332.0
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本实用新型提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN213652621U
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202022227537.5
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供用于制造蒸镀掩模的金属板以及蒸镀掩模。一种用于制造蒸镀掩模的金属板，该金属板具备第1面和位于第1面的相反侧的第2面，并且包含铁和镍，该金属板可以具有包含除铁和镍以外的元素作为主要成分的颗粒。在包括金属板的第1面和第2面的样品中，可以满足下述条件(1)、(2)。(1)每1mm3体积的样品中所包含的具有1μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以上3000个以下。(2)每1mm3体积的样品中所包含的具有3μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以下。
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公开(公告)号：CN207313683U
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201721264151.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/04 , C23C14/24 , C23F1/00 , C23F1/02 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 中间产品和蒸镀掩模。提供可抑制长边变形的蒸镀掩模。一种金属制的板状的中间产品，其布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于蒸镀掩模部分的短边。蒸镀掩模部分的长边未与支承部分连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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