一种龟裂薄膜材料连续自动涂膜设备

    公开(公告)号:CN205851218U

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201620799812.1

    申请日:2016-07-26

    IPC分类号: B05B15/12 H01B13/00

    摘要: 本实用新型公开了一种龟裂薄膜材料连续自动涂膜设备,包括电控装置、按照柔性衬底输送方向依次设置的放卷机构、常压等离子体清洗装置、涂布装置、加热装置和收卷机构,放卷机构、常压等离子体清洗装置、涂布装置、加热装置和收卷机构分别与电控装置相连,电控装置控制柔性衬底由放卷机构放卷,经过常压等离子体清洗装置对其进行常压等离子体清洗、涂布装置涂布龟裂液和加热装置加热涂布有龟裂液的柔性衬底,在柔性衬底上形成龟裂缝模板成为柔性衬底模板,并由收卷机构收卷。本实用新型实现了龟裂薄膜材料的连续性、大面积生产,用于金属网络透明电极制备线前段牺牲层连续自动涂膜,缩短了生产周期,工艺流程简单,提高了生产效率。

    一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备

    公开(公告)号:CN205803586U

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201620801957.0

    申请日:2016-07-26

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56 C23C14/54

    摘要: 本实用新型公开了一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备,包括电控装置、真空腔、抽真空装置、磁控溅射镀膜装置和卷绕机构,卷绕机构主要由放卷机构、收卷机构和输送机构组成,输送机构包括镀膜支承辊,镀膜支承辊和磁控溅射镀膜装置分别为一对,镀膜支承辊为半环形,放卷机构位于其中一个镀膜支承辊围括的区域内,收卷机构位于另一个镀膜支承辊围括的区域内,每个镀膜支承辊的辊面分别与一个磁控溅射镀膜装置相对应,经过两个镀膜支承辊的柔性衬底的外表面分别是该柔性衬底的两个面。本实用新型可实现一次性同时双面镀膜,提高了生产效率,也可根据工艺需求选择单面镀膜以及单面镀双层复合膜,且节约了腔体内部空间,减小了腔体体积。