公开(公告)号：CN213816174U

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN202022401590.2

申请日：2020-10-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  胡钗 ,  魏东 ,  张新宇

IPC: H01L31/115 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01Q15/00 ,  H01Q15/10

Abstract: 本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器，探测器包括：衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层宽度为0.5～10mm，并且包括分别用于探测红外信号的第一金属层和探测太赫兹信号的第二金属层，由于第一金属层和第二金属层分别对入射的红外信号和太赫兹信号波段电磁信号具有极强的局域表面等离激元感应能力，一旦与对应的信号产生局域表面等离激元振荡，其响应速度属于超高速响应，能够在极短时间内产生极强的响应信号，使得探测器能够更好地分辨红外太赫兹波段的电磁信号。此外，由于超表面光学天线的制作采用纳米工艺，使得红外太赫兹信号探测器体积很小、重量很轻。

公开(公告)号：CN213425003U

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202022401720.2

申请日：2020-10-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  胡钗 ,  魏东 ,  张新宇

IPC: H01L31/115 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01Q15/00 ,  H01Q15/10

Abstract: 本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的红外射频信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底、掺杂层和二氧化硅层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成肖特基接触的超表面光学天线层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成欧姆接触的欧姆电极，以及位于二氧化硅层的上表面的肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层是由多个彼此间隔的金属层组成的阵列结构，金属层包括第一金属层和第二金属层，第一金属层为宽度为0.5～5mm的具有周期性纳尖结构的金属纳尖阵列，第二金属层为宽度为5～100mm的金属阵列，由周期性排列的微米基元构成；超表面光学天线层对入射的红外、射频S、C或X波段的信号具有局域表面等离激元效应，能够以较小的体积完成响应速度较快的信号探测。