公开(公告)号：CN216979122U

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202122910217.4

申请日：2021-11-25

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 佟嘉程 ,  朴林华 ,  李备 ,  王灯山

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本实用新型采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本实用新型可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。

公开(公告)号：CN216248023U

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202122867772.3

申请日：2021-11-22

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  张严 ,  佟嘉程 ,  王灯山

IPC: G01P5/08

Abstract: 本申请公开了一种动热源式z轴微机械角速度传感器，该z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。

公开(公告)号：CN216595183U

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202122910542.0

申请日：2021-11-25

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  李备 ,  王灯山 ,  佟嘉程

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。

公开(公告)号：CN216485109U

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN202122910667.3

申请日：2021-11-25

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  李备 ,  王灯山 ,  佟嘉程

IPC: G01P15/12

Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。

公开(公告)号：CN216449608U

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202122910171.6

申请日：2021-11-25

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  李备 ,  王灯山 ,  佟嘉程

IPC: G01P15/12

Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。